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公開番号2024006692
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-01-17
出願番号2022107818
出願日2022-07-04
発明の名称センサ及び検査装置
出願人株式会社東芝
代理人弁理士法人iX
主分類G01R 33/02 20060101AFI20240110BHJP(測定;試験)
要約【課題】特性の向上が可能なセンサ及び検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、センサは、第1磁性部材、第1対向磁性部材、第2磁性部材、第2対向磁性部材、第1~第4素子を含む。第1素子の少なくとも一部の第1方向における位置は、第1磁性部材の第1方向における位置と、第1対向磁性部材の第1方向における位置と、の間にある。第2素子の少なくとも一部の第1方向における位置は、第2磁性部材の第1方向における位置と、第2対向磁性部材の第1方向における位置と、の間にある。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
第1磁性部材と、
第1対向磁性部材であって、前記第1対向磁性部材は、前記第1磁性部材から前記第1対向磁性部材への第1方向において前記第1磁性部材から離れた、前記第1対向磁性部材と、
第1磁性層を含む第1素子であって、前記第1素子の少なくとも一部の前記第1方向における位置は、前記第1磁性部材の前記第1方向における位置と、前記第1対向磁性部材の前記第1方向における位置と、の間にあり、前記第1素子は、第1部分及び第1他部分を含み、前記第1部分から前記第1他部分への第2方向は、前記第1方向と交差した、前記第1素子と、
第2磁性部材であって、前記第1磁性部材から前記第2磁性部材への方向は、前記第2方向に沿い、
第2対向磁性部材であって、前記第2対向磁性部材は、前記第1方向において前記第2磁性部材から離れ、前記第1対向磁性部材から前記第2対向磁性部材への方向は、前記第2方向に沿う、前記第2対向磁性部材と、
第2磁性層を含む第2素子であって、前記第2素子の少なくとも一部の前記第1方向における位置は、前記第2磁性部材の前記第1方向における位置と、前記第2対向磁性部材の前記第1方向における位置と、の間にあり、前記第2素子は、第2部分及び第2他部分を含み、前記第2部分から前記第2他部分への方向は、前記第2方向に沿う、前記第2素子と、
第3部分及び第3他部分を含む第3素子であって、前記第3部分は前記第1部分と電気的に接続され、前記第3他部分は前記第2部分と電気的に接続された、前記第3素子と、
第4部分及び第4他部分を含む第4素子であって、前記第4部分は前記第1他部分と電気的に接続され、前記第4他部分は前記第2他部分と電気的に接続された、前記第4素子と、
を含む素子部を備えたセンサ。
続きを表示(約 1,200 文字)【請求項2】
前記第1磁性部材の前記第1方向における前記位置、及び、前記第1対向磁性部材の前記第1方向における前記位置の少なくともいずれかは、前記第3素子の前記第1方向における位置と、前記第4素子の前記第1方向における位置と、の間にあり、
前記第2磁性部材の前記第1方向における前記位置、及び、前記第2対向磁性部材の前記第1方向における前記位置の少なくともいずれかは、前記第3素子の前記第1方向における前記位置と、前記第4素子の前記第1方向における前記位置と、の間にある、請求項1に記載のセンサ。
【請求項3】
前記第1素子の前記少なくとも一部の前記第1方向における前記位置、及び、前記第2素子の前記少なくとも一部の前記第1方向における前記位置の少なくともいずれかは、前記第3素子の前記第1方向における位置と、前記第4素子の前記第1方向における位置と、の間にある、請求項1に記載のセンサ。
【請求項4】
前記第1磁性部材の前記第2方向における位置、及び、前記第2磁性部材の前記第2方向における位置は、前記第3素子の前記第2方向における位置と、前記第4素子の前記第2方向における位置と、の間にある、請求項1に記載のセンサ。
【請求項5】
前記第3素子の前記第2方向における位置、及び、前記第4素子の前記第2方向における位置の少なくともいずれかは、前記第1磁性部材の前記第2方向における位置と、前記第2磁性部材の前記第2方向における位置と、の間にある、請求項1に記載のセンサ。
【請求項6】
前記第3素子及び前記第4素子は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向において、前記第1磁性部材、前記第1対向磁性部材、前記第2磁性部材及び前記第2対向磁性部材と重ならない、請求項1に記載のセンサ。
【請求項7】
導電部材をさらに備え、
前記導電部材を流れる導電部材電流は、前記第1素子及び前記第2素子に沿う、請求項1に記載のセンサ。
【請求項8】
前記導電部材に前記導電部材電流を供給可能な交流回路をさらに備え、
前記導電部材電流は交流成分を含み、
前記導電部材電流に基づく磁界は、前記第2方向の成分を含む、請求項7に記載のセンサ。
【請求項9】
素子電流回路と、
検出回路と、
をさらに備え、
前記素子電流回路は、前記第1部分及び前記第3部分の第1接続点と、前記第2他部分及び前記第4他部分の第2接続点と、の間に素子電流を供給可能であり、
前記検出回路は、前記第3他部分及び前記第2部分の第3接続点と、前記第1他部分及び前記第4部分の第4接続点と、の間に生じる検出信号を検出可能である、請求項8に記載のセンサ。
【請求項10】
請求項1~9のいずれか1つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号を処理する処理部と、
を備えた検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、センサ及び検査装置に関する。
続きを表示(約 2,400 文字)【背景技術】
【0002】
例えば、磁性層を用いたセンサがある。センサにおいて、特性の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2018-155719号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の実施形態は、特性の向上が可能なセンサ及び検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の実施形態によれば、センサは、第1磁性部材、第1対向磁性部材、第1素子、第2磁性部材、第2対向磁性部材、第2素子、第3素子及び第4素子を含む。前記第1対向磁性部材は、前記第1磁性部材から前記第1対向磁性部材への第1方向において前記第1磁性部材から離れる。前記第1素子は、第1磁性層を含む。前記第1素子の少なくとも一部の前記第1方向における位置は、前記第1磁性部材の前記第1方向における位置と、前記第1対向磁性部材の前記第1方向における位置と、の間にある。前記第1素子は、第1部分及び第1他部分を含む。前記第1部分から前記第1他部分への第2方向は、前記第1方向と交差する。前記第1磁性部材から前記第2磁性部材への方向は、前記第2方向に沿う。前記第2対向磁性部材は、前記第1方向において前記第2磁性部材から離れる。前記第1対向磁性部材から前記第2対向磁性部材への方向は、前記第2方向に沿う。前記第2素子は、第2磁性層を含む。前記第2素子の少なくとも一部の前記第1方向における位置は、前記第2磁性部材の前記第1方向における位置と、前記第2対向磁性部材の前記第1方向における位置と、の間にある。前記第2素子は、第2部分及び第2他部分を含む。前記第2部分から前記第2他部分への方向は、前記第2方向に沿う。前記第3素子は、第3部分及び第3他部分を含む。前記第3部分は前記第1部分と電気的に接続される。前記第3他部分は前記第2部分と電気的に接続される。前記第4素子は、第4部分及び第4他部分を含む。前記第4部分は前記第1他部分と電気的に接続される。前記第4他部分は前記第2他部分と電気的に接続される。
【図面の簡単な説明】
【0006】
図1は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図2(a)及び図2(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図3は、参考例に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図4は、センサの特性を例示するグラフである。
図5(a)及び図5(b)は、第1実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図6は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図7(a)及び図7(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図8(a)及び図8(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図9(a)及び図9(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図10(a)及び図10(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図11は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図12は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図13は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図14は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図15は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図16は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図17は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図18(a)及び図18(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図19は、第2実施形態に係る検査装置を示す模式的図である。
図20は、第2実施形態に係る検査装置を示す模式的斜視図である。
図21は、第2実施形態に係る検査装置を示す模式的平面図である。
図22は、実施形態に係るセンサ及び検査装置を示す模式図である。
図23は、実施形態に係る検査装置を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【0008】
(第1実施形態)
図1、図2(a)及び図2(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図1は、平面図である。図2(a)は、図1のA1-A2線断面図である。図2(b)は、図1のB1-B2線断面図である。
【0009】
図1に示すように、実施形態に係るセンサ110は、素子部10Eを含む。素子部10Eは、第1磁性部材51、第1対向磁性部材51A、第1素子11、第2磁性部材52、第2対向磁性部材52A、第2素子12、第3素子13及び第4素子14を含む。
【0010】
第1対向磁性部材51Aは、第1磁性部材51から第1対向磁性部材51Aへの第1方向D1において、第1磁性部材51から離れる。
(【0011】以降は省略されています)

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