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公開番号2024006692
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-01-17
出願番号2022107818
出願日2022-07-04
発明の名称センサ及び検査装置
出願人株式会社東芝
代理人弁理士法人iX
主分類G01R 33/02 20060101AFI20240110BHJP(測定;試験)
要約【課題】特性の向上が可能なセンサ及び検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、センサは、第1磁性部材、第1対向磁性部材、第2磁性部材、第2対向磁性部材、第1～第4素子を含む。第1素子の少なくとも一部の第1方向における位置は、第1磁性部材の第1方向における位置と、第1対向磁性部材の第1方向における位置と、の間にある。第2素子の少なくとも一部の第1方向における位置は、第2磁性部材の第1方向における位置と、第2対向磁性部材の第1方向における位置と、の間にある。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１磁性部材と、
第１対向磁性部材であって、前記第１対向磁性部材は、前記第１磁性部材から前記第１対向磁性部材への第１方向において前記第１磁性部材から離れた、前記第１対向磁性部材と、
第１磁性層を含む第１素子であって、前記第１素子の少なくとも一部の前記第１方向における位置は、前記第１磁性部材の前記第１方向における位置と、前記第１対向磁性部材の前記第１方向における位置と、の間にあり、前記第１素子は、第１部分及び第１他部分を含み、前記第１部分から前記第１他部分への第２方向は、前記第１方向と交差した、前記第１素子と、
第２磁性部材であって、前記第１磁性部材から前記第２磁性部材への方向は、前記第２方向に沿い、
第２対向磁性部材であって、前記第２対向磁性部材は、前記第１方向において前記第２磁性部材から離れ、前記第１対向磁性部材から前記第２対向磁性部材への方向は、前記第２方向に沿う、前記第２対向磁性部材と、
第２磁性層を含む第２素子であって、前記第２素子の少なくとも一部の前記第１方向における位置は、前記第２磁性部材の前記第１方向における位置と、前記第２対向磁性部材の前記第１方向における位置と、の間にあり、前記第２素子は、第２部分及び第２他部分を含み、前記第２部分から前記第２他部分への方向は、前記第２方向に沿う、前記第２素子と、
第３部分及び第３他部分を含む第３素子であって、前記第３部分は前記第１部分と電気的に接続され、前記第３他部分は前記第２部分と電気的に接続された、前記第３素子と、
第４部分及び第４他部分を含む第４素子であって、前記第４部分は前記第１他部分と電気的に接続され、前記第４他部分は前記第２他部分と電気的に接続された、前記第４素子と、
を含む素子部を備えたセンサ。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記第１磁性部材の前記第１方向における前記位置、及び、前記第１対向磁性部材の前記第１方向における前記位置の少なくともいずれかは、前記第３素子の前記第１方向における位置と、前記第４素子の前記第１方向における位置と、の間にあり、
前記第２磁性部材の前記第１方向における前記位置、及び、前記第２対向磁性部材の前記第１方向における前記位置の少なくともいずれかは、前記第３素子の前記第１方向における前記位置と、前記第４素子の前記第１方向における前記位置と、の間にある、請求項１に記載のセンサ。
【請求項３】
前記第１素子の前記少なくとも一部の前記第１方向における前記位置、及び、前記第２素子の前記少なくとも一部の前記第１方向における前記位置の少なくともいずれかは、前記第３素子の前記第１方向における位置と、前記第４素子の前記第１方向における位置と、の間にある、請求項１に記載のセンサ。
【請求項４】
前記第１磁性部材の前記第２方向における位置、及び、前記第２磁性部材の前記第２方向における位置は、前記第３素子の前記第２方向における位置と、前記第４素子の前記第２方向における位置と、の間にある、請求項１に記載のセンサ。
【請求項５】
前記第３素子の前記第２方向における位置、及び、前記第４素子の前記第２方向における位置の少なくともいずれかは、前記第１磁性部材の前記第２方向における位置と、前記第２磁性部材の前記第２方向における位置と、の間にある、請求項１に記載のセンサ。
【請求項６】
前記第３素子及び前記第４素子は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向において、前記第１磁性部材、前記第１対向磁性部材、前記第２磁性部材及び前記第２対向磁性部材と重ならない、請求項１に記載のセンサ。
【請求項７】
導電部材をさらに備え、
前記導電部材を流れる導電部材電流は、前記第１素子及び前記第２素子に沿う、請求項１に記載のセンサ。
【請求項８】
前記導電部材に前記導電部材電流を供給可能な交流回路をさらに備え、
前記導電部材電流は交流成分を含み、
前記導電部材電流に基づく磁界は、前記第２方向の成分を含む、請求項７に記載のセンサ。
【請求項９】
素子電流回路と、
検出回路と、
をさらに備え、
前記素子電流回路は、前記第１部分及び前記第３部分の第１接続点と、前記第２他部分及び前記第４他部分の第２接続点と、の間に素子電流を供給可能であり、
前記検出回路は、前記第３他部分及び前記第２部分の第３接続点と、前記第１他部分及び前記第４部分の第４接続点と、の間に生じる検出信号を検出可能である、請求項８に記載のセンサ。
【請求項１０】
請求項１～９のいずれか１つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号を処理する処理部と、
を備えた検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、センサ及び検査装置に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、磁性層を用いたセンサがある。センサにおいて、特性の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－１５５７１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、特性の向上が可能なセンサ及び検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、センサは、第１磁性部材、第１対向磁性部材、第１素子、第２磁性部材、第２対向磁性部材、第２素子、第３素子及び第４素子を含む。前記第１対向磁性部材は、前記第１磁性部材から前記第１対向磁性部材への第１方向において前記第１磁性部材から離れる。前記第１素子は、第１磁性層を含む。前記第１素子の少なくとも一部の前記第１方向における位置は、前記第１磁性部材の前記第１方向における位置と、前記第１対向磁性部材の前記第１方向における位置と、の間にある。前記第１素子は、第１部分及び第１他部分を含む。前記第１部分から前記第１他部分への第２方向は、前記第１方向と交差する。前記第１磁性部材から前記第２磁性部材への方向は、前記第２方向に沿う。前記第２対向磁性部材は、前記第１方向において前記第２磁性部材から離れる。前記第１対向磁性部材から前記第２対向磁性部材への方向は、前記第２方向に沿う。前記第２素子は、第２磁性層を含む。前記第２素子の少なくとも一部の前記第１方向における位置は、前記第２磁性部材の前記第１方向における位置と、前記第２対向磁性部材の前記第１方向における位置と、の間にある。前記第２素子は、第２部分及び第２他部分を含む。前記第２部分から前記第２他部分への方向は、前記第２方向に沿う。前記第３素子は、第３部分及び第３他部分を含む。前記第３部分は前記第１部分と電気的に接続される。前記第３他部分は前記第２部分と電気的に接続される。前記第４素子は、第４部分及び第４他部分を含む。前記第４部分は前記第１他部分と電気的に接続される。前記第４他部分は前記第２他部分と電気的に接続される。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図３は、参考例に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図４は、センサの特性を例示するグラフである。
図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図７（ａ）及び図７（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図９（ａ）及び図９（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図１１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１３は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１４は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１５は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１７は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１８（ａ）及び図１８（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１９は、第２実施形態に係る検査装置を示す模式的図である。
図２０は、第２実施形態に係る検査装置を示す模式的斜視図である。
図２１は、第２実施形態に係る検査装置を示す模式的平面図である。
図２２は、実施形態に係るセンサ及び検査装置を示す模式図である。
図２３は、実施形態に係る検査装置を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１、図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１は、平面図である。図２（ａ）は、図１のＡ１－Ａ２線断面図である。図２（ｂ）は、図１のＢ１－Ｂ２線断面図である。
【０００９】
図１に示すように、実施形態に係るセンサ１１０は、素子部１０Ｅを含む。素子部１０Ｅは、第１磁性部材５１、第１対向磁性部材５１Ａ、第１素子１１、第２磁性部材５２、第２対向磁性部材５２Ａ、第２素子１２、第３素子１３及び第４素子１４を含む。
【００１０】
第１対向磁性部材５１Ａは、第１磁性部材５１から第１対向磁性部材５１Ａへの第１方向Ｄ１において、第１磁性部材５１から離れる。
（【００１１】以降は省略されています）

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