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公開番号2023173335
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-12-07
出願番号2022085513
出願日2022-05-25
発明の名称対流抑制炉
出願人中外炉工業株式会社
代理人個人,個人
主分類C30B 23/06 20060101AFI20231130BHJP(結晶成長)
要約【課題】対流の影響を抑制して、加熱ゾーンにおいて上部温度を下部温度よりも低くする、対流抑制炉を提供する。
【解決手段】原料7を収容する容器10と、前記容器10を覆うケーシング20と、横方向に延在して、前記容器10と前記ケーシング20との間で形成される加熱ゾーン90を上下方向に仕切る仕切り50とを備え、仕切り50は、前記容器10の外側側面17および前記ケーシング20の内側側面26のそれぞれに近接するように構成される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
原料を収容する容器と、
前記容器を覆うケーシングと、
横方向に延在して、前記容器と前記ケーシングとの間で形成される加熱ゾーンを上下方向に仕切る仕切りとを備え、
前記仕切りは、前記容器の外側側面および前記ケーシングの内側側面のそれぞれに近接することを特徴とする、対流抑制炉。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
前記ケーシングを覆う断熱ハウジングと、
横方向に延在して、前記ケーシングと前記断熱ハウジングとの間で形成される断熱ゾーンを上下方向に仕切る断熱仕切りとをさらに備え、
前記断熱仕切りは、前記ケーシングの外側側面および前記断熱ハウジングの内側側面のそれぞれに近接するように構成されることを特徴とする、請求項１に記載の対流抑制炉。
【請求項３】
前記加熱ゾーンが、前記仕切りによって第１加熱ゾーンと第２加熱ゾーンとに分割され、
前記第１加熱ゾーンの温度と前記第２加熱ゾーンの温度とが別個独立に制御されることを特徴とする、請求項１に記載の対流抑制炉。
【請求項４】
前記第１加熱ゾーンは、前記第２加熱ゾーンよりも上方に位置して、
前記第１加熱ゾーンの温度が前記第２加熱ゾーンの温度よりも低くなるように制御されることを特徴とする、請求項３に記載の対流抑制炉。
【請求項５】
前記ケーシングは、その上部において、開閉可能な上蓋部を有し、
前記断熱ハウジングは、前記上蓋部を上下方向に移動させることを可能にするための放熱壁部を有し、
前記放熱壁部での肉厚は、前記ケーシングを覆う部分での肉厚よりも薄いことを特徴とする、請求項２に記載の対流抑制炉。
【請求項６】
前記容器の前記外側側面は、上から下に向けて先細のテーパー形状を有し、
前記仕切りは、上から下に向けて先細のテーパー形状を有する係合穴を備え、
前記容器の前記外側側面と前記仕切りの前記係合穴とが係合することを特徴とする、請求項１に記載の対流抑制炉。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この発明は、対流抑制炉に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
炉内温度が高くなるほど、輻射および対流の影響によって、炉内雰囲気において上部温度が下部温度よりも高くなるため、炉内雰囲気において上部温度を下部温度よりも高くすることは容易である。また、炉内雰囲気の温度をできるだけ均一にしたいというニーズもある。他方で、炉内雰囲気において上部温度を下部温度よりも低くしたいというニーズがある。
【０００３】
単結晶バルクの製造方法として、例えば昇華再結晶法がある。昇華再結晶法は、原料を高温下で加熱することで昇華ガスを発生させ、原料よりも低温の種結晶の表面に昇華ガスを凝縮させることによって、単結晶バルクを得るものである（特許文献１から特許文献３を参照）。この場合、下方の高温部で昇華ガスを発生させるとともに上方の低温部（種結晶）に昇華ガスを凝縮させるために、炉内雰囲気において上部温度を下部温度よりも低くする必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平７－３３０４９３号公報
特開２０１７－２４９２０号公報
特表２０１０－５１０１５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように、炉内温度が高くなると、輻射および対流の影響によって、炉内雰囲気すなわち加熱ゾーンなどにおいて上部温度を下部温度よりも低くすることは容易ではない。
【０００６】
そこで、この発明の課題は、対流の影響を抑制する対流抑制炉を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、この発明の一態様に係る対流抑制炉は、
原料を収容する容器と、
前記容器を覆うケーシングと、
横方向に延在して、前記容器と前記ケーシングとの間で形成される加熱ゾーンを上下方向に仕切る仕切りとを備え、
前記仕切りは、前記容器の外側側面および前記ケーシングの内側側面のそれぞれに近接するように構成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、加熱ゾーンなどにおける広範な対流が、仕切りによって妨げられるので、対流の影響を抑制できる。そして、加熱ゾーンなどにおいて上部温度を下部温度よりも低くできる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態に係る対流抑制炉を模式的に説明する断面図である。
第２実施形態に係る対流抑制炉を模式的に説明する断面図である。
第３実施形態に係る対流抑制炉を模式的に説明する断面図である。
第４実施形態に係る対流抑制炉の要部を模式的に説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながら、この発明に係る対流抑制炉１の実施の形態を説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」、「前」、「後」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は、図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率などは現実のものとは必ずしも合致するものではない。この発明において、「近接する」という文言は、「密着しながら当接する」こと、または、「微小な隙間で接近する」ことを意味する。
（【００１１】以降は省略されています）

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