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発行日2024-05-10
公報種別意匠公報(S)
登録番号1685215
登録日2021-04-20
意匠に係る物品基板処理装置用ガス導入管
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2020017141
出願日2020-08-18
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、ウエハを処理する基板処理装置の処理室内で、ガス供給ノズルを直立させて支持するとともに、当該ガス供給ノズルにガスを導入するものである。
意匠の説明
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