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発行日
2024-07-01
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1689064
登録日
2021-06-15
意匠に係る物品
温度センサ
意匠分類
H1
-558(基本的電気素子)
出願番号
2020018343
出願日
2020-08-31
意匠権者
株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人
ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明
本願物品は、半導体製造用の熱処理炉の外側から内部に差し込むように取り付けられ、炉内の温度を検出するための2つのセンサを1本の絶縁管の中にまとめている。
意匠の説明
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