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発行日2024-07-01
公報種別意匠公報(S)
登録番号1689064
登録日2021-06-15
意匠に係る物品温度センサ
意匠分類H1-558(基本的電気素子)
出願番号2020018343
出願日2020-08-31
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、半導体製造用の熱処理炉の外側から内部に差し込むように取り付けられ、炉内の温度を検出するための2つのセンサを1本の絶縁管の中にまとめている。
意匠の説明
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