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発行日
2025-04-28
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1713188
登録日
2022-04-13
意匠に係る物品
反応管
意匠分類
K0
-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号
2021019930
出願日
2021-09-15
意匠権者
株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人
ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明
本願物品は、基板処理装置において、複数多段に並べた基板を内部に収容して、所定のガス雰囲気下で処理する反応管である。
意匠の説明
斜視図中、他の六面図に表れていない細線は、いずれも立体表面の形状を特定するためのものである。
この意匠をJ-PlatPat(特許庁公式サイト)で参照する
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