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発行日2025-02-04
公報種別意匠公報(S)
登録番号1706319
登録日2022-01-21
意匠に係る物品基板処理装置用ガス供給ノズル
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2021012874
出願日2021-06-16
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、反応管内部に垂直方向に多段に保持した基板を処理する基板処理装置に用いられるガス供給ノズルである。
意匠の説明図面中、実線で表された部分が、意匠登録を受けようとする部分である。また、一点鎖線は、意匠登録を受けようとする部分との境界線を示す線である。
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