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発行日2025-04-28
公報種別意匠公報(S)
登録番号1713190
登録日2022-04-13
意匠に係る物品半導体製造装置用セパレータ
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2021021414
出願日2021-10-01
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明
意匠の説明本願物品は、複数のウエハを処理する基板処理装置において、処理室内に設けられ複数のウエハ間でガスの流れを分離するために使用されるセパレータである。
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