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発行日
2025-02-04
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1706321
登録日
2022-01-21
意匠に係る物品
半導体製造装置用断熱ユニットカバー
意匠分類
K0
-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号
2021014031
出願日
2021-06-28
意匠権者
株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人
ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明
本願物品は、半導体ウエハ等の基板を処理する反応管の炉口部に設けられる断熱ユニットを覆うカバーである。
意匠の説明
図面中、実線で表された部分が、意匠登録を受けようとする部分である。また、一点鎖線は、意匠登録を受けようとする部分との境界線を示す線である。
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