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発行日
2025-02-04
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1706322
登録日
2022-01-21
意匠に係る物品
半導体製造装置用基板支持具
意匠分類
K0
-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号
2021018468
出願日
2021-08-27
意匠権者
株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人
ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明
本願物品は、複数のウエハを処理する基板処理装置において、処理室内で基板を取り囲むように複数個設けられ、ピンの上で各ウエハを支持する基板支持具である。
意匠の説明
この意匠をJ-PlatPat(特許庁公式サイト)で参照する
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