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発行日2024-11-25
公報種別意匠公報(S)
登録番号1700777
登録日2021-11-09
意匠に係る物品基板処理装置用ボート
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2021005258
出願日2021-03-15
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、ウエハを処理する基板処理装置の縦型反応室内に複数の基板を水平に保持するためのボートであり、左右及び後方の柱に形成された鋭角な形状の突起に基板が載置される。
意匠の説明図面中、実線で表された部分が、意匠登録を受けようとする部分である。一点鎖線は、意匠登録を受けようとする部分とその他の部分との境界線のみを示す線である。
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