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発行日2024-11-25
公報種別意匠公報(S)
登録番号1700780
登録日2021-11-09
意匠に係る物品基板処理装置用ノズルホルダー
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2021005832
出願日2021-03-22
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、ウエハを処理する基板処理装置の処理室内に配置されるガス供給ノズルに接続して使用され、当該ガス供給ノズルを直立させて支持するノズルホルダーである。なお、本体の中央部はガスを通すためのノズル構造となっている。
意匠の説明
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