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発行日2024-11-25
公報種別意匠公報(S)
登録番号1700776
登録日2021-11-09
意匠に係る物品基板処理装置用基板載置プレート
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2021004536
出願日2021-03-04
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、基板処理装置において下部ヒーターの上に設置して使用され、下部ヒーターからの熱を本物品に載置された基板に均一に伝導させるためのプレートである。
意匠の説明
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