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発行日2024-08-15
公報種別意匠公報(S)
登録番号1692912
登録日2021-07-30
意匠に係る物品温度センサ
意匠分類H1-558(基本的電気素子)
出願番号2020019645
出願日2020-09-15
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、半導体製造装置の熱処理炉の内部温度を測定する温度センサである。本願意匠は、一つの保護管の内部に複数のセンサを設け、熱処理炉内の所定の位置の温度をそれぞれ検出するものである。
意匠の説明破線で示された円筒形の保護管は、透明な素材で形成されている。図面中、実線で表された部分が、意匠登録を受けようとする部分である。
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