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発行日
2024-04-30
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1684469
登録日
2021-04-12
意匠に係る物品
基板処理装置用天井ヒータ
意匠分類
K0
-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号
2020020257
出願日
2020-09-24
意匠権者
株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人
ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明
本願物品は、基板を処理する基板処理装置において、基板処理装置の処理室を加熱するためのヒータユニットの天井部に設置される天井ヒータである。
意匠の説明
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