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発行日2024-04-30
公報種別意匠公報(S)
登録番号1684468
登録日2021-04-12
意匠に係る物品基板処理装置用天井ヒータ
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2020020256
出願日2020-09-24
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、基板を処理する基板処理装置において、基板処理装置の処理室を加熱するためのヒータユニットの天井部に設置される天井ヒータである。
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