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発行日2024-05-14
公報種別意匠公報(S)
登録番号1685763
登録日2021-04-28
意匠に係る物品反応管
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2020020126
出願日2020-09-23
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、複数枚の基板を多段に並べ、プラズマを用いて処理する基板処理装置において用いられる反応管である。
意匠の説明本願意匠は透明な素材で形成されている。
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