意匠ウォッチ

発行日2024-07-16
公報種別意匠公報(S)
登録番号1775438
登録日2024-07-05
意匠に係る物品成膜機
意匠分類K0-70(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024000162
出願日2024-01-09
意匠権者JSWアフティ株式会社
代理人弁理士法人筒井国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、例えば半導体ウェハなどの基板(以下、ワークと呼ぶ)に対して減圧下で成膜を行う際に用いられる成膜機であり、真空搬送室、成膜室、成膜室原料ガス供給ユニット、マイクロ波導波管室、プラズマ生成室等で構成される。成膜処理対象であるワークは、各部の名称を説明する参考図に示すロードロック室から本物品に出し入れされる。ロードロック室のワークはワーク昇降機構により上下に搬送される。真空搬送室ではロードロック室のワークを受け取って成膜室に運び、成膜室では真空状態にてワークの表面に対する成膜処理が行われる。ワーク回転昇降加熱機構は、ワークに成膜するときの回転、昇降、加熱を行う機構である。成膜室扉昇降機構は、成膜室のメンテナンス時に扉を上下させる機構であり、成膜室真空ユニットは、成膜室を真空状態にするポンプユニットである。
意匠の説明本物品の大きさは、左側面図において縦約2287cm、横約2870cmである。

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