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発行日2024-07-12
公報種別意匠公報(S)
登録番号1775348
登録日2024-07-04
意匠に係る物品キャリア
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024002042
出願日2024-01-31
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人,個人,個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本願物品は、例えば複数のダイ(チップ)、半導体ウェハ、ガラス基板等の対象物を保持するためのキャリアである。本願物品は、略円板形状を有する基材と、略円板形状を有する膜と、を重ねてなる構造を有している。基材と膜は略同一径を有する。基材の厚みは膜の厚みより大きい。基材には、厚み方向に貫通する貫通孔が形成されている。貫通孔は基材の中央領域に形成されている。基材の表面の外周領域には、アライメントマークが形成されている。基材と膜の外側面には、厚み方向に延在するノッチが形成されている。膜は透明である。本願物品は、膜の表面において対象物を保持する。本願物品は、基材の貫通孔にエア等を供給することにより、膜の表面に保持された対象物を離脱させる。
意匠の説明透明部を示す参考図、及びA-A’部分拡大図における透明部を示す参考図において、斜線部分は透明である。

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