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発行日
2025-01-31
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1790303
登録日
2025-01-23
意匠に係る物品
カバーリング
意匠分類
K0
-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号
2024014223
出願日
2024-07-10
意匠権者
東京エレクトロン株式会社
,
TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人
個人
,
個人
,
個人
,
個人
意匠に係る物品の説明
本物品は、半導体製造装置において、アウターリングに載せて使用するカバーリングである。この種物品は、使用の際、アウターリングとの間に隙間が生じる。そして、意図しない物が、この隙間を経路として、サセプターへと入り込んでしまう。本物品は、「拡大A-A断面図」に示すように、外縁に沿って凹凸を設けている。そのため、「使用状態を示す参考断面図」の矢印で示すように経路が複雑となり、意図しない物がサセプターに入り込みにくくなっている。
意匠の説明
実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。物品の表面に表した一点鎖線は、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分とその他の部分との境界を示す線であり、模様として意匠を構成しない。各図に表された略弧状の細線は、いずれも立体表面の形状を表す線であり、模様として意匠を構成しない。
この意匠をJ-PlatPat(特許庁公式サイト)で参照する
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