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発行日2025-01-14
公報種別意匠公報(S)
登録番号1788803
登録日2024-12-27
意匠に係る物品半導体製造装置用洗浄ブラシ
意匠分類K1-410(利器及び工具)
出願番号2024008856
出願日2024-04-30
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造装置において、基板の露光等に悪影響を及ぼす基板裏面の付着物(パーティクル等)を除去するために使用するブラシである。本物品は、外周部に洗浄部を有している。本物品は、基板裏面に向かって強く押圧して洗浄部が接触した状態で回転することで、基板裏面の付着物を除去することができる。本物品は、土台部の穴部を大きく形成しているため、洗浄時に使用する洗浄液を容易に除去することができ、中心部に洗浄液が溜まることを抑制することができる。
意匠の説明実線で表した部分が部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。底面図は平面図と対称に表れるため省略する。左側面図は右側面図と対称に表れるため省略する。
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