TOP｜ 特許｜ 意匠｜ 商標
意匠ウォッチ Twitter
発行日2025-01-14
公報種別意匠公報(S)
登録番号1788803
登録日2024-12-27
意匠に係る物品半導体製造装置用洗浄ブラシ
意匠分類K1-410(利器及び工具)
出願番号2024008856
出願日2024-04-30
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造装置において、基板の露光等に悪影響を及ぼす基板裏面の付着物(パーティクル等)を除去するために使用するブラシである。本物品は、外周部に洗浄部を有している。本物品は、基板裏面に向かって強く押圧して洗浄部が接触した状態で回転することで、基板裏面の付着物を除去することができる。本物品は、土台部の穴部を大きく形成しているため、洗浄時に使用する洗浄液を容易に除去することができ、中心部に洗浄液が溜まることを抑制することができる。
意匠の説明実線で表した部分が部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。底面図は平面図と対称に表れるため省略する。左側面図は右側面図と対称に表れるため省略する。
この意匠をJ-PlatPatで参照する

関連意匠

東京エレクトロン株式会社
基板洗浄具
8か月前
東京エレクトロン株式会社
半導体製造装置用洗浄ブラシ
5か月前
東京エレクトロン株式会社
キャリア
11か月前
東京エレクトロン株式会社
カバーリング
4か月前
東京エレクトロン株式会社
カバーリング
8か月前
東京エレクトロン株式会社
基板搬送用保持具
11か月前
東京エレクトロン株式会社
ウェハ加熱用集光用レンズ
1か月前
東京エレクトロン株式会社
ウェハ加熱用集光用レンズ
1か月前
東京エレクトロン株式会社
ウェハ加熱用集光用レンズ
1か月前
東京エレクトロン株式会社
ウェハ加熱用集光用レンズ
1か月前
東京エレクトロン株式会社
温度測定機能付き基板ステージ
11か月前
株式会社ローレル・ジャパン
鋏
14日前
株式会社ヒカリ
鋏
9か月前
有限会社ベストテクニカル
金型
11か月前
株式会社アマダ
金型
1か月前
有限会社ティワイアソシエイツ
金型
11か月前
株式会社アマダ
金型
1か月前
キング砥石株式会社
砥石
2か月前
コクヨ株式会社
はさみ
6か月前
株式会社彌満和製作所
タップ
5か月前
株式会社カインズ
バッグ
5か月前
株式会社カインズ
バッグ
5か月前
株式会社カインズ
バッグ
5か月前
株式会社カインズ
バッグ
5か月前
住友電工ハードメタル株式会社
ドリル
24日前
株式会社カインズ
バッグ
5か月前
コクヨ株式会社
はさみ
6か月前
株式会社彌満和製作所
タップ
5か月前
株式会社彌満和製作所
タップ
5か月前
株式会社近正
はさみ
29日前
個人
丸ゴテ
1か月前
株式会社サチクル
やすり
1か月前
コクヨ株式会社
はさみ
6か月前
株式会社中橋製作所
角のみ
5か月前
エフ・ピー・ツール株式会社
リーマ
1か月前
個人
やすり
1か月前
続きを見る