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発行日2025-06-25
公報種別意匠公報(S)
登録番号1802035
登録日2025-06-17
意匠に係る物品基板処理装置の検査用基板
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025001464
出願日2025-01-27
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、塗布現像装置等の基板処理装置内において、処理対象である半導体ウエハ等の基板と、基板に近接する基板処理装置の各種部材(処理カップや、処理液の供給ノズル等)との位置関係が適切であるか否かの検査を行うための、検査用基板である。本物品を用いて検査を行う際には、本物品を、基板処理装置内に搬送し、カメラ等を備えた位置センサー部によって、本物品と、近接する基板処理装置の各種部材との距離を検出し、接触式センサー部によって、本物品と、近接する基板処理装置の各種部材とが接触(干渉)するか否かを検出し、検出した情報を無線送信することにより検査を行う。
意匠の説明実線で表した部分が部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。
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