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発行日2024-10-11
公報種別意匠公報(S)
登録番号1782147
登録日2024-10-03
意匠に係る物品カバーリング
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024006684
出願日2024-03-29
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人,個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造装置において、アウターリングに載せて使用するカバーリングである。この種物品は、使用の際、アウターリングとの間に隙間が生じる。そして、意図しない物が、この隙間を経路として、サセプターへと入り込んでしまう。本物品は、「拡大A-A断面図」に示すように、外縁に沿って凸部を設けている。そのため、「使用状態を示す参考断面図」の矢印で示すように経路が複雑となり、意図しない物がサセプターに入り込みにくくなっている。
意匠の説明実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。「参考拡大A-A断面図」において赤く着色した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。物品の表面に表した一点鎖線は、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分とその他の部分との境界を示す線であり、模様として意匠を構成しない。各図に表された略弧状の細線は、いずれも立体表面の形状を表す線であり、模様として意匠を構成しない。

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