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発行日2024-07-12
公報種別意匠公報(S)
登録番号1775347
登録日2024-07-04
意匠に係る物品基板搬送用保持具
意匠分類K0-029(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024001838
出願日2024-01-30
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、例えば、ロボットアームの先端に取り付けて、半導体ウェハ等の円形基板を吸着搬送するためのものである。「使用状態を示す底面側参考斜視図」に示すように、底面側に表れた6つの吸着パッドの吸着箇所を切り替えることにより、200mmウェハ又は300mmウェハの両方の大きさのウェハを搬送することができる。
意匠の説明実線で表れた部分が意匠登録を受けようとする部分である。背面図は、正面図と対称に表れるため、省略する。
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