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発行日
2024-06-18
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1773328
登録日
2024-06-10
意匠に係る物品
サセプタ
意匠分類
K0
-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号
2024002981
出願日
2024-02-13
意匠権者
株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人
弁理士法人清水・醍醐事務所
意匠に係る物品の説明
本物品は、半導体製造装置等においてウェハを保持するために用いるサセプタユニットを構成するカバーベース一体型サセプタ部品であり、ウェハが載置される土台となる部品である。
意匠の説明
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