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発行日2025-03-24
公報種別意匠公報(S)
登録番号1794171
登録日2025-03-13
意匠に係る物品リフレクターシタキャップ
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024020358
出願日2024-10-01
意匠権者株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人弁理士法人清水・醍醐事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造装置等においてプロセスチャンバー内のリフレクターシタ部分に搭載される副生成物の堆積および成長を制御する為のキャップである。
意匠の説明
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