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発行日2025-03-24
公報種別意匠公報(S)
登録番号1794170
登録日2025-03-13
意匠に係る物品ノズルプレート
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024020310
出願日2024-09-30
意匠権者株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人弁理士法人清水・醍醐事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造装置等におけるガス導入部に設置されるノズルプレートである。
意匠の説明
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