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発行日2025-06-02
公報種別意匠公報(S)
登録番号1800063
登録日2025-05-23
意匠に係る物品半導体ウェハ及びサセプタ加熱用ヒータ
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025001614
出願日2025-01-29
意匠権者株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人弁理士法人清水・醍醐事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造装置等において、上方から供給されるガスを外周から加熱するとともに、ウェハおよびウェハを保持するサセプタを上方から加熱するためのヒータである。
意匠の説明
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