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発行日2024-06-18
公報種別意匠公報(S)
登録番号1773329
登録日2024-06-10
意匠に係る物品サセプタ
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024002982
出願日2024-02-13
意匠権者株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人弁理士法人清水・醍醐事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造装置等においてウェハを保持するために用いるサセプタユニットを構成するカバーベース一体型サセプタ部品であり、ウェハが載置される土台となる部品である。
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