意匠ウォッチ

発行日2024-07-12
公報種別意匠公報(S)
登録番号1775342
登録日2024-07-04
意匠に係る物品温度測定機能付き基板ステージ
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024001058
出願日2024-01-22
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造装置の処理チャンバー内において静電チャック部を介して半導体ウエハのような基板を載置するためのものであり、温度を測定する機能を有するものである。本物品は円板状をなし、金属製の本体の表面にアルミナのようなセラミックス膜が形成され、セラミックス膜の表面に測温抵抗体が形成されている。測温抵抗体は、外周ゾーンに2ライン、内周ゾーンに2ライン設けられ、測温抵抗体の線幅は1mm、線間(ピッチ)は2mmである。測温抵抗体の端子は4端子法で測定可能な形状を有している。本物品の外周部には等間隔で3箇所のリフトピン挿通孔が設けられており、外周ゾーンの測温抵抗体は2箇所のリフトピン挿通孔を内側によけるように形成されている。本物品は温調機構により温調が可能となっており、温調の際に本物品の表層の温度を測温抵抗体の抵抗値の変化から把握することができ、表層の温度の変化をリアルタイムでモニタリングすることができる。また、測温抵抗体を外周ゾーンと内周ゾーンに分ける構造とすることで、各ゾーンの温度のモニタリングを実現することができる。本物品の使用に際しては、使用状態を示す参考底面図に示すように、本物品の測温抵抗体が形成された面の上に、測温抵抗体を覆うように静電チャック部(アルミナのような誘電体皮膜の内部に静電吸着電極を埋設した構造)を形成し、測温抵抗体が埋設された状態とし、静電チャック部により半導体ウエハのような基板を吸着する。そして、上記のように本物品の表層の温度をモニタリングすることにより、静電チャック部に吸着された基板の温度をモニタリングすることができる。
意匠の説明意匠登録を受けようとする部分を実線で、それ以外の部分を破線で表している。一点鎖線は、登録を受けようとする部分とそれ以外の部分の境界のみを表している。

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