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発行日
2024-01-29
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1678277
登録日
2021-01-14
意匠に係る物品
反応管
意匠分類
K0
-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号
2020005340
出願日
2020-03-19
意匠権者
株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人
ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明
本願物品は、複数枚の基板を多段に並べて処理する基板処理装置において用いられる反応管で、本体外周の下部には排気口が形成され、別体のポンプに接続されて使用される。
意匠の説明
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