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発行日2024-01-29
公報種別意匠公報(S)
登録番号1678273
登録日2021-01-14
意匠に係る物品反応管
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2020004705
出願日2020-03-10
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、基板処理装置において用いられる反応管で、本体上部の突出した部分には、処理ガスを均一に供給するためのバッファー室が形成されている。
意匠の説明本願意匠は全体が透明体である。
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