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発行日2024-01-29
公報種別意匠公報(S)
登録番号1678274
登録日2021-01-14
意匠に係る物品基板処理装置用ボート
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2020004706
出願日2020-03-10
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、基板処理装置に用いられ、基板処理装置の反応室内に複数の基板を水平に保持するためのボートである。
意匠の説明斜視図及びE-E拡大図中、細線はいずれも立体表面の形状を特定するためのものである。
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