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発行日2024-01-29
公報種別意匠公報(S)
登録番号1678278
登録日2021-01-14
意匠に係る物品基板処理装置用ボート
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2020005341
出願日2020-03-19
意匠権者株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人ポレール特許業務法人
意匠に係る物品の説明本願物品は、基板処理装置に用いられ、基板処理装置の反応室内に複数の基板を水平に保持するためのボートである。
意匠の説明図面中、実線で表された部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。一点鎖線は、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分との境界線のみを示す線である。
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