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発行日2024-03-19
公報種別意匠公報(S)
登録番号1766095
登録日2024-03-11
意匠に係る物品サセプタ
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2023024989
出願日2023-12-01
意匠権者株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人弁理士法人清水・醍醐事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造装置等においてウェハを保持するために用いるサセプタユニットを構成する部品であり、サセプタリングの内周上部とサセプタユニット中央部のサセプタ部品の間に載置され、ウェハが載る土台となる部品である。
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