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発行日
2024-03-19
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1766095
登録日
2024-03-11
意匠に係る物品
サセプタ
意匠分類
K0
-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号
2023024989
出願日
2023-12-01
意匠権者
株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人
弁理士法人清水・醍醐事務所
意匠に係る物品の説明
本物品は、半導体製造装置等においてウェハを保持するために用いるサセプタユニットを構成する部品であり、サセプタリングの内周上部とサセプタユニット中央部のサセプタ部品の間に載置され、ウェハが載る土台となる部品である。
意匠の説明
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