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公開番号2025140752
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024040318
出願日2024-03-14
発明の名称検査装置及び検査方法
出願人レーザーテック株式会社
代理人個人
主分類G02B 21/06 20060101AFI20250919BHJP(光学)
要約【課題】試料に与えるダメージを低減させつつ高スループットで試料を検査することができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る検査装置1は、照明光L10を複数のN個の光束に分離する分離部111と、N個の光束を含む照明光L10を試料500に集光することにより、試料500上にN個のスポット領域SAを形成する集光レンズ119と、集光レンズ119の瞳と共役な位置に設けられ、試料500のN個のスポット領域SAからの二次光線を検出する検出部220と、スポット領域SAを試料500上で移動させる駆動部KDを制御することによって、スポット領域SAを試料500上で走査させる走査部120と、光束をN個から1個以上N個未満のM個に切り替えるように分離部111を制御する制御部300と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
照明光を複数のＮ個の光束に分離する分離部と、
前記Ｎ個の前記光束を含む前記照明光を試料に集光することにより、試料上に前記Ｎ個のスポット領域を形成する集光レンズと、
前記集光レンズの瞳と共役な位置に設けられ、前記試料の前記Ｎ個の前記スポット領域からの二次光線を検出する検出部と、
前記スポット領域を前記試料上で移動させる駆動部を制御することによって、前記スポット領域を前記試料上で走査させる走査部と、
前記光束を前記Ｎ個から１個以上前記Ｎ個未満のＭ個に切り替えるように前記分離部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記Ｎ個の前記スポット領域を前記試料上において走査させた場合の前記検出部による信号出力を取得する第１観察モードを実行し、
前記第１観察モードにおける前記信号出力に基づいて、前記試料において所定の観察対象が検出されたかを判定し、
前記試料において前記所定の観察対象が検出された場合に、前記Ｍ個の前記光束で前記所定の観察対象が観察された位置を照明し、前記検出部による前記信号出力を取得する第２観察モードを実行し、
前記第２観察モードにおける前記信号出力に基づいて、前記観察対象を判定する、
検査装置。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記制御部は、
前記第２観察モードにおいて、複数のサンプリング時刻で前記所定の観察対象が観察された位置を照明した場合の前記検出部の信号出力を積算して前記観察対象の内容を判定する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記制御部は、
前記第１観察モードにおいて、前記Ｎ個の前記スポット領域を含む前記照明光の位置である照明位置と、前記照明位置における前記検出部の前記信号出力と、を対応付けて取得し、
複数のサンプリング時刻での特定の位置に対する前記信号出力を積算して、前記試料上の前記特定の位置において所定の観察対象が観察されたかを判定する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記特定の位置は、前記試料についての所定の欠陥候補画像が検出された位置を含む、
請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記第２観察モードにおいて、前記特定の位置における前記検出部の出力信号を積算する、
請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記照明光は、前記試料を励起する励起光を含み、
前記二次光線は、前記試料からのフォトルミネッセンス光を含む、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項７】
前記照明光は、前記試料を複数の光子で励起する多光子励起光を含む、
請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
隣り合う前記スポット領域の間隔は、前記試料の熱伝導率に基づいて設定される、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項９】
照明光を複数のＮ個の光束に分離部で分離させるステップと、
前記Ｎ個の前記光束を含む前記照明光を集光レンズで試料に集光することにより、試料上に前記Ｎ個のスポット領域を形成させるステップと、
前記集光レンズの瞳と共役な位置に設けられた検出部で、前記試料の前記Ｎ個の前記スポット領域からの二次光線を検出させるステップと、
前記スポット領域を前記試料上で移動させる駆動部を制御することによって、前記スポット領域を前記試料上で走査部に走査させるステップと、
前記Ｎ個の前記スポット領域を前記試料上において走査させた場合の前記検出部による信号出力を取得する第１観察モードを実行するステップと、
前記第１観察モードにおける前記信号出力に基づいて、前記試料において所定の観察対象が検出されたかを判定するステップと、
前記試料において前記所定の観察対象が検出された場合に、前記光束を前記Ｎ個から１以上前記Ｎ個未満のＭ個に前記分離部に切り替えさせるステップと、
前記Ｍ個の前記光束で前記所定の観察対象が観察された位置を照明し、前記検出部による前記信号出力を取得する第２観察モードを実行するステップと、
前記第２観察モードにおける前記信号出力に基づいて、前記観察対象を判定するステップと、
を備えた検査方法。
【請求項１０】
前記第２観察モードを実行するステップにおいて、
複数のサンプリング時刻で前記所定の観察対象が観察された位置を照明した場合の前記検出部の信号出力を積算し、
前記観察対象を判定するステップにおいて、
前記観察対象の内容を判定する、
請求項９に記載の検査方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、検査装置及び検査方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、試料に対して励起光を照射してフォトルミネッセンス光（以下、ＰＬ光と呼ぶ。）を観察する装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００３－１９４７１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
試料の検査領域を広範囲にスキャンさせてＰＬ光を観察する際に、高スループットで、試料に与えるダメージを低減させて観察することが求められている。
【０００５】
本開示は、このような問題点を鑑みてなされたものであり、試料に与えるダメージを低減させつつ高スループットで試料を検査することができる検査装置及び検査方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態の一態様に係る検査装置は、照明光を複数のＮ個の光束に分離する分離部と、前記Ｎ個の前記光束を含む前記照明光を試料に集光することにより、試料上に前記Ｎ個のスポット領域を形成する集光レンズと、前記集光レンズの瞳と共役な位置に設けられ、前記試料の前記Ｎ個の前記スポット領域からの二次光線を検出する検出部と、前記スポット領域を前記試料上で移動させる駆動部を制御することによって、前記スポット領域を前記試料上で走査させる走査部と、前記光束を前記Ｎ個から１個以上前記Ｎ個未満のＭ個に切り替えるように前記分離部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記Ｎ個の前記スポット領域を前記試料上において走査させた場合の前記検出部による信号出力を取得する第１観察モードを実行し、前記第１観察モードにおける前記信号出力に基づいて、前記試料において所定の観察対象が検出されたかを判定し、前記試料において前記所定の観察対象が検出された場合に、前記Ｍ個の前記光束で前記所定の観察対象が観察された位置を照明し、前記検出部による前記信号出力を取得する第２観察モードを実行し、前記第２観察モードにおける前記信号出力に基づいて、前記観察対象を判定する。
【０００７】
上記の検査装置では、前記制御部は、前記第２観察モードにおいて、複数のサンプリング時刻で前記所定の観察対象が観察された位置を照明した場合の前記検出部の信号出力を積算して前記観察対象の内容を判定してもよい。
【０００８】
上記の検査装置では、前記制御部は、前記第１観察モードにおいて、前記Ｎ個の前記スポット領域を含む前記照明光の位置である照明位置と、前記照明位置における前記検出部の前記信号出力と、を対応付けて取得し、複数のサンプリング時刻での特定の位置に対する前記信号出力を積算して、前記試料上の前記特定の位置において所定の観察対象が観察されたかを判定してもよい。
【０００９】
上記の検査装置では、前記特定の位置は、前記試料についての所定の欠陥候補画像が検出された位置を含んでもよい。
【００１０】
上記の検査装置では、前記制御部は、前記第２観察モードにおいて、前記特定の位置における前記検出部の出力信号を積算してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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