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公開番号2025130794
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-09
出願番号2024028081
出願日2024-02-28
発明の名称露光装置、露光方法、及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250902BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】原版または基板に接触する接触部材による剥離帯電を抑制する。
【解決手段】原版を介して光源からの光を基板に露光する露光装置であって、原版または基板と接触する接触部材を含む接触機構を備え、接触部材は、少なくとも原版または基板と接触する面に窒素原子が付加されたフッ素ゴムで構成される。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
原版を介して光源からの光を基板に露光する露光装置であって、
前記原版または前記基板と接触する接触部材を含む接触機構を備え、
前記接触部材は、少なくとも前記原版または前記基板と接触する面に窒素原子が付加されたフッ素ゴムで構成されることを特徴とする露光装置。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
前記接触部材は、表面に前記窒素原子が付加されたフッ素ゴムで構成されることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記フッ素ゴムは、前記フッ素ゴム表面のＸ線光電子分光分析による窒素含有量と前記フッ素ゴム内部の前記Ｘ線光電子分光分析による窒素含有量の差が、０．５％以上７．５％以下であることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記フッ素ゴムは、前記フッ素ゴム表面のＸ線光電子分光分析による窒素含有量と前記フッ素ゴム内部の前記Ｘ線光電子分光分析による窒素含有量の差が、１．５％以上４．５％以下であることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項５】
前記フッ素ゴムは、発泡フッ素ゴムであることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項６】
前記発泡フッ素ゴムは、連泡率が５０％以下であることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記発泡フッ素ゴムは、連泡率が２５％以下であることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項８】
前記発泡フッ素ゴムは、連泡率が１０％以下であることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項９】
前記フッ素ゴムは、カーボンブラックを含有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記接触機構と前記原版により圧力制御空間を形成し、
前記原版の自重による撓みを制御するように前記圧力制御空間の圧力を変化させる圧力制御機構を有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置、露光方法、及び物品の製造方法に関するものである。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示素子、有機ＥＬ表示装置、ＶＲ、ＡＲデバイスに用いられる偏向素子、半導体素子等の電子デバイスを製造するリソグラフィ工程では、露光装置が用いられる。この露光装置では、マスク（原版）のパターンを、投影光学系を介して感光性の基板（ガラスガラスプレート）に転写する。
【０００３】
特許文献１は、マスクの上側を平面ガラス等の空間定義部材で塞いで密閉空間を構成し、当該密閉空間の圧力を調整することによってマスクの撓み（たわみ）を補正する露光装置を開示している。
【０００４】
特許文献２は、ステージ上に載置された基板を昇降部材で昇降し、露光装置外部との受け渡しをする露光装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００６―１３５０８５号公報
特開２０１８―０１０２４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載されている露光装置では、マスクの交換時にマスクと撓み制御ユニットを剥離するが、マスクと撓み制御ユニットの接触部に剥離帯電が生じてマスクパターンを破損する事態が生じ得る。また、特許文献２に記載されている露光装置では、基板を鉛直方向に昇降し、基板の受け渡しをするが、基板と昇降部材の接触部に剥離帯電が生じて基板に転写されたパターンを破損する事態が生じ得る。
【０００７】
そこで、本発明は上記の課題を解決するために、原版または基板に接触する接触部材による剥離帯電を抑制することができる露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての露光装置は、原版を介して光源からの光を基板に露光する露光装置であって、前記原版または前記基板と接触する接触部材を含む接触機構を備え、前記接触部材は、少なくとも前記原版または前記基板と接触する面に窒素原子が付加されたフッ素ゴムで構成される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、原版または基板に接触する接触部材による剥離帯電を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
実施形態１の撓み制御ユニットの構造を示した図である。
実施形態１の搬送アームが撓み制御ユニットを掴んだ状態を示した図である。
実施形態１の搬送アームが撓み制御ユニットを持ち上げた状態を示した図である。
実施形態１の搬送アームが撓み制御ユニットをマスクの外側に移動させた状態を示した図である。
実施形態１の撓み制御ユニットの斜視図である。
実施形態２の昇降ユニットの構造を示した図である。
実施形態２のロボットハンドがガラス部材下部に移動した状態を示した図である。
実施形態２の昇降部材が降下しガラス部材がロボットハンド上に載置された状態を示した図である。
実施形態２のロボットハンドが昇降ユニットの外側に移動した状態を示した図である。
実施形態２のロボットハンドがガラス部材をすくい上げた状態を示した図である。
実施形態２の昇降ユニットの斜視図である。
実施形態１及び２のＸＰＳ分析によるガラス接触部材内部と表面の窒素含有量の差と帯電電位の関係をプロットした図である。
実施形態の露光装置の概略構成を示す図である。
実施形態のガラス変形ユニットの構造を示した図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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