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公開番号2025129925
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-05
出願番号2024026906
出願日2024-02-26
発明の名称吐出装置、クリーニング装置、制御方法及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類B05C 11/10 20060101AFI20250829BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】吐出ヘッドの吐出口が開口した面をクリーニングするのに有利な技術を提供する。
【解決手段】複数の吐出ヘッドから互いに異なる液体を吐出する吐出装置であって、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれについて、当該吐出ヘッドから前記互いに異なる液体のうちの1つの液体を吐出するための吐出口が開口した面をクリーニングするために、前記吐出口から前記面に前記1つの液体が供給されるように制御する第1制御部と、前記面に供給された前記1つの液体を吸引して回収する吸引部と、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれについて、前記吐出口から前記面に前記1つの液体を供給してから前記吸引部によって前記面に供給された前記1つの液体の吸引を開始するまでの時間を制御する第2制御部と、を有する、ことを特徴とする吐出装置を提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数の吐出ヘッドから互いに異なる液体を吐出する吐出装置であって、
前記複数の吐出ヘッドのそれぞれについて、当該吐出ヘッドから前記互いに異なる液体のうちの１つの液体を吐出するための吐出口が開口した面をクリーニングするために、前記吐出口から前記面に前記１つの液体が供給されるように制御する第１制御部と、
前記面に供給された前記１つの液体を吸引して回収する吸引部と、
前記複数の吐出ヘッドのそれぞれについて、前記吐出口から前記面に前記１つの液体を供給してから前記吸引部によって前記面に供給された前記１つの液体の吸引を開始するまでの時間を制御する第２制御部と、
を有する、ことを特徴とする吐出装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記互いに異なる液体は、揮発性が異なる液体を含み、
前記第２制御部は、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれについて、前記吐出口から前記面に供給される前記１つの液体の揮発性に基づいて、前記時間を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の吐出装置。
【請求項３】
前記互いに異なる液体は、揮発性が異なる液体を含み、
前記第１制御部は、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれについて、前記１つの液体の揮発性に基づいて、前記吐出口から前記面に供給する前記１つの液体の供給量を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の吐出装置。
【請求項４】
前記第１制御部は、前記互いに異なる液体のうち揮発性が高い液体ほど前記吐出口から前記面に供給する液体の量が多くなるように、前記供給量を決定する、ことを特徴とする請求項３に記載の吐出装置。
【請求項５】
前記複数の吐出ヘッドのそれぞれについて、前記面の状態を検知する検知部を更に有し、
前記第２制御部は、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれについて、前記検知部によって検知された前記面の状態に基づいて、前記時間を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の吐出装置。
【請求項６】
前記検知部は、前記面の状態として、前記面に存在する異物の面積を検知する、ことを特徴とする請求項５に記載の吐出装置。
【請求項７】
前記第２制御部は、前記検知部によって検知された前記異物の面積が大きいほど前記時間が長くなるように、前記吐出ヘッドごとに前記時間を決定する、ことを特徴とする請求項６に記載の吐出装置。
【請求項８】
前記互いに異なる液体は、揮発性が異なる液体を含み、
前記第１制御部は、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれについて、前記第２制御部によって決定された前記時間、及び、前記１つの液体の揮発性に基づいて、前記吐出口から前記面に供給する前記１つの液体の供給量を制御する、ことを特徴とする請求項７に記載の吐出装置。
【請求項９】
前記第１制御部は、前記第２制御部によって決定された前記時間と前記１つの液体の揮発速度との積が大きいほど前記吐出口から前記面に供給する液体の量が多くなるように、前記吐出ヘッドごとに前記供給量を決定する、ことを特徴とする請求項８に記載の吐出装置。
【請求項１０】
液体を吐出する吐出ヘッドを備えた吐出装置であって、
前記吐出ヘッドから前記液体を吐出するための吐出口が開口した面をクリーニングするために、前記吐出口から前記面に前記液体が供給されるように前記吐出ヘッドを制御する第１制御部と、
前記面に供給された前記液体を吸引して回収する吸引部と、
前記液体の揮発性に基づいて、前記吐出口から前記面に前記液体を供給してから前記吸引部によって前記面に供給された前記液体の吸引を開始するまでの時間を制御する第２制御部と、
を有する、ことを特徴とする吐出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出装置、クリーニング装置、制御方法及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、種々の機能素子を製造する際に、液体吐出装置（インクジェット装置）を用いて機能素子の材料を基板上に付与してパターンを形成すること（パターニング）が試みられている。液体吐出装置を用いたパターニングは、オンデマンドパターニングが可能であるため材料の使用効率が高いこと、非真空プロセスであるため製造装置が比較的小型になること、材料を大面積に高速に付与できることなどのメリットを有している。
【０００３】
液体吐出装置では、吐出ヘッドの吐出口からインクなどの液体を吐出している間（パターニング時）や待機時に吐出口の近傍に異物が付着（残留）する、或いは、吐出口の近傍の液体が増粘すると、吐出不良や品質の乱れなどの不具合が発生することがある。かかる不具合を解消するために、吐出ヘッドの吐出口の内部や表面の異物（付着物や残留物）を除去する技術が提案されている（特許文献１及び２参照）。
【０００４】
特許文献１には、吐出口から液体を加圧して排出（吐出）しながら、非接触に、吐出口の内部や表面の異物を除去する技術が開示されている。かかる技術では、吐出口を吐出時の圧力よりも正圧の方向に変更させた状態において、吐出口に対向して設けられた吸引口で吐出口の内部や表面の異物を吸引している。これにより、吐出口の表面に付着した異物が吐出口に侵入することを防止しながら、吐出口の表面の異物を除去することができる。
【０００５】
特許文献２には、吐出口の詰まりを防止しながら、吐出ヘッドの表面の異物を除去する技術が開示されている。かかる技術では、複数の吐出ヘッドの表面を順次ワイピングして異物を除去する際に、ワイピングしていない吐出ヘッドを、フラッシング動作させる、或いは、キャッピングしている。これにより、吐出ヘッドをワイピングしている間に他の吐出ヘッドの吐出口の詰まりを防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１６－２１５６３８号公報
特開２００５－２５４２２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、各吐出ヘッドに収納されている液体の揮発性が異なる場合において、かかる液体で吐出口の近傍の異物を溶解させて除去することを考えると、従来技術では、幾つかの問題が発生する可能性がある。例えば、液体の揮発性が高いほど、異物を除去するために吐出口の表面に付与した液体の乾燥が早く、かかる液体が異物を完全に溶解する前に揮発して、溶解しきれていない異物が表面に残留することがある。一方、吐出口の表面に付与した液体が乾燥する前に吸引を開始したとしても、吐出口の近傍の異物が溶解していない場合、かかる異物が表面に残留することがある。
【０００８】
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、吐出ヘッドの吐出口が開口した面をクリーニングするのに有利な技術を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての吐出装置は、複数の吐出ヘッドから互いに異なる液体を吐出する吐出装置であって、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれについて、当該吐出ヘッドから前記互いに異なる液体のうちの１つの液体を吐出するための吐出口が開口した面をクリーニングするために、前記吐出口から前記面に前記１つの液体が供給されるように制御する第１制御部と、前記面に供給された前記１つの液体を吸引して回収する吸引部と、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれについて、前記吐出口から前記面に前記１つの液体を供給してから前記吸引部によって前記面に供給された前記１つの液体の吸引を開始するまでの時間を制御する第２制御部と、を有する、ことを特徴とする。
【００１０】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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