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公開番号2025127470
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-01
出願番号2025025538
出願日2025-02-20
発明の名称OLED蒸着用メタルマスク、OLED蒸着用メタルマスクの製造設備、及びOLED蒸着用メタルマスクの製造方法
出願人プンウォンプレシジョンカンパニーリミテッド,エルジーディスプレイカンパニーリミテッド
代理人弁理士法人永井国際特許事務所
主分類H10K 71/16 20230101AFI20250825BHJP()
要約【課題】OLED蒸着用メタルマスク、OLED蒸着用メタルマスクの製造設備及びOLED蒸着用メタルマスクの製造方法を提供する。
【解決手段】OLED蒸着用メタルマスクは、予め設定された厚さと幅をなして隣り合って配置され、互いに結合する多数の単位マザーガラス素材と、前記互いに隣り合って配置される前記多数の単位マザーガラス素材を互いに結合させる結合部と、前記結合部を溶接して固定する溶接部とを含む。
【選択図】図1a
特許請求の範囲【請求項１】
ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクにおいて、
前記ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクは、
内側の単位マザーガラス素材と、
前記内側のマザーガラス素材の両側部に配置される一対の外側の単位マザーガラス素材と、
前記内側の単位マザーガラス素材の両側面から突出するように形成される一対の第１結合部と、
前記一対の外側の単位マザーガラス素材のそれぞれの一面に形成され、前記一対の第１結合部が差し込まれて結合するように溝状に形成される一対の第２結合部を備え、前記一対の第１結合部と前記一対の第２結合部のそれぞれが結合して、それぞれの結合部を形成し、
前記結合部を溶接して固定する溶接部を含み、
互いに結合した前記内側の単位マザーガラス素材と前記一対の外側の単位マザーガラス素材の上面は、前記溶接部が形成された後、エッチングによって実質的に同一の平面をなすように表面処理が行われたことを特徴とする、
ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
続きを表示（約 5,300 文字）【請求項２】
ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクにおいて、
前記ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクは、
内側の単位マザーガラス素材と、
前記内側のマザーガラス素材の両側部に配置される一対の外側の単位マザーガラス素材と、
前記内側の単位マザーガラス素材の両側面に形成される一対の第１結合部と、
前記一対の外側の単位マザーガラス素材のそれぞれの一面に形成され、前記一対の第１結合部とそれぞれ段差結合して、それぞれの結合部を形成し、
前記それぞれの結合部を溶接して固定する溶接部を含み、
前記一対の第１結合部は、「
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2025127470000002.jpg
46
30
」状に形成され、
前記一対の第２結合部は、前記一対の第１結合部のそれぞれに段差結合するように「
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2025127470000003.jpg
41
36
」状に形成され、
互いに結合した前記内側の単位マザーガラス素材と前記一対の外側の単位マザーガラス素材の上面は、前記溶接部が形成された後、エッチングによって実質的に同一の平面をなすように表面処理が行われたことを特徴とする、
ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項３】
ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクにおいて、
前記ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクは、
内側の単位マザーガラス素材と、
前記内側のマザーガラス素材の両側部に配置される一対の外側の単位マザーガラス素材と、
前記内側の単位マザーガラス素材の両側面に形成される一対の第１結合部と、
前記一対の外側の単位マザーガラス素材のそれぞれの一面に形成され、前記一対の第１結合部とそれぞれ段差結合して、それぞれの結合部を形成し、
前記それぞれの結合部を溶接して固定する溶接部を含み、
前記一対の第１結合部は、「
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42
27
」状に形成され、
前記一対の第２結合部は、前記一対の第１結合部のそれぞれに段差結合するように「
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41
23
」状に形成され、
互いに結合した前記一対の第１結合部と前記一対の第２結合部との間には、一定深みの空間が形成され、前記空間には溶接部が満たされて形成され、
互いに結合した前記内側の単位マザーガラス素材と前記一対の外側の単位マザーガラス素材の上面は、前記溶接部が形成された後、前記溶接部の上面と共にエッチングによって実質的に同一の平面をなすように表面処理が行われたことを特徴とする、
ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項４】
前記それぞれの結合部は、結合ラインを形成するものの、
前記結合ラインは、
ジグザグまたは凹凸状の結合をなすものの、
前記メタルマスクの水平方向及び垂直方向に沿って形成されることを特徴とする、
請求項１、請求項２、請求項３のいずれか一項に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項５】
ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクの製造設備において、
前記ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクの製造設備は、
本体部に備えられて、予め準備される多数の単位マザーガラス素材を互いに隣り合うように、互いに離隔させて安着する安着領域が形成される安着部；
前記本体部に設置されて、前記多数の単位マザーガラス素材をグリップし、互いに隣り合って密着結合するように移動させる結合装置部；
前記本体部に設置されて、結合して形成される多数の単位マザーガラス素材の間のそれぞれの結合部に溶接部を形成して固定する溶接固定部；及び
前記結合装置部及び前記溶接固定部の駆動を制御する制御部を含むものの、
前記多数の単位マザーガラス素材は、両側面に第１結合部がそれぞれ形成される内側の単位マザーガラス素材と、前記内側の単位マザーガラス素材の両側部に配置されて、前記一対の第１結合部と結合するように、両側面に一対の第２結合部を有する一対の外側の単位マザーガラス素材を含み、
前記結合装置部は、前記内側の単位マザーガラス素材をグリップして、前記安着領域の設定された位置に安着させる第１グリップ部と、前記一対の外側の単位マザーガラス素材をグリップして、前記内側の単位マザーガラス素材の両側で離隔させて、前記安着領域の設定された位置に安着させる一対の第２グリップ部と、前記制御部の制御によって、前記一対の第２グリップ部を互いに対向する方向に沿って移動させて、前記一対の外側の単位マザーガラス素材を前記内側の単位マザーガラス素材の両側部に結合させる移動部とを含み、
前記制御部は、前記溶接固定部が駆動される間に、前記移動部を用いて前記一対の外側の単位マザーガラス素材を前記内側の単位マザーガラス素材の両側部に結合した状態を一定時間維持されるように制御し、
前記安着領域には、前記内側の単位マザーガラス素材の上端及び下端を固定する一対の固定部材が形成され、前記一対の外側の単位マザーガラス素材が前記内側の単位マザーガラス素材の両側部に結合するように移動を案内する、一対の移動ガイド部材がそれぞれ形成されるものの、
前記制御部は、設定部を有し、前記設定部を介して製造しようとするメタルマスクのサイズを設定し、
前記本体部は、地面に支持されて、直立する胴体を有し、
前記安着部は、前記本体部に固定設置され、
前記安着部は、平板状の安着板を有し、前記安着板には前記一対の固定部材が設置され、前記一対の固定部材は、前記安着板に結合して着脱可能であり、
前記一対の移動ガイド部材のそれぞれは、前記一対の固定部材の両側部に並んで形成され、
前記結合装置部は、前記第１グリップ部と、前記一対の第２グリップ部と、前記移動部とを有し、
前記結合装置部は、前記安着部の上部に配置されるように前記本体部に設置され、
前記本体部には、前記安着部の上部に位置される支持部材が設置され、
前記第１グリップ部は、第１昇降軸を有する第１昇降シリンダーと、前記第１昇降軸の下端に設置される第１真空吸着部材を有し、
前記第１真空吸着部材は、第１真空提供機とチューブを介して連結され、真空吸着力が提供されて真空が形成または把持し、前記第１真空提供機は、前記制御部の制御によって駆動され、
前記支持部材には、水平方向に沿って移動可能であるように、前記支持部材とレール方式で連結される下部支持部材が備えられ、
前記下部支持部材は、第１リニアモータの駆動によって、前記支持部材に沿って水平方向に移動され、前記第１リニアモータは、前記制御部の制御によって駆動され、
前記第１昇降シリンダーの上端は、前記下部支持部材の中央に固定され、
前記一対の第２グリップ部のそれぞれは、第２昇降軸を有する第２昇降シリンダーと、前記第２昇降軸の下端に設置される第２真空吸着部材を有し、前記第１真空吸着部材は、第１真空提供機とチューブを介して連結され、真空吸着力が提供されて真空が形成または把持し、前記第１真空提供機は、前記制御部の制御によって駆動され、
前記第１、２昇降シリンダーは、前記制御部の制御によって、前記第１、２昇降軸を昇降させ、
前記下部支持部材には、前記下部支持部材の中央を境界に一対の移動レールが形成され、
前記一対の第２グリップ部のそれぞれの前記第２昇降シリンダーの上端は、前記一対の移動レールのそれぞれに移動可能であるように連結され、
前記移動部は、それぞれの第２リニアモータを含み、
前記一対の移動レールには、前記それぞれの第２リニアモータが連結され、それぞれの前記第２リニアモータは、前記制御部の制御によって、前記一対の第２昇降シリンダーを前記一対の移動レールに沿って独立に移動させ、
前記本体部には、前記安着部と離隔する位置に素材待機部が配置され、
前記素材待機部には、前記内側のマザーガラス単位部材と前記一対の外側のマザーガラス単位部材が待機され、
前記溶接固定部は、前記本体部に設置されて、電流を提供する電流提供機と、前記電流提供機から電流が提供されて前記溶接部を形成する溶接棒部材と、前記制御部の制御によって駆動される移動装置とを有し、前記移動装置は、設定される移動経路に沿って前記溶接棒部材を移動させて、前記移動経路は、前記制御部に設定されることを特徴とする、
ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクの製造設備。
【請求項６】
前記制御部は、ビジョンセンサを用いて、前記内側の単位マザーガラス素材の前記一対の第１結合部と、前記一対の外側の単位マザーガラス素材の前記一対の第２結合部とが結合して、前記それぞれの結合部を形成することによる結合ラインに対する情報を抽出し、
前記結合ラインは、Ｘ、Ｙ、Ｚ座標情報から構成され、
前記制御部は、抽出された前記結合ラインに沿って、前記溶接棒部材の下端が接触する状態で移動されるように制御するとともに、前記電流提供機を用いて、前記溶接棒部材を介して前記結合ラインに沿って前記溶接部を形成するものの、
前記結合ラインは、
ジグザグまたは凹凸状の結合をなすものの、
前記メタルマスクの水平方向及び垂直方向に沿って形成されることを特徴とする、
請求項５に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクの製造設備。
【請求項７】
前記一対の第１結合部は、「
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44
23
」状に形成され、
前記一対の第２結合部は、前記一対の第１結合部のそれぞれに段差結合するように「
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44
36
」状に形成され、
互いに結合した前記内側の単位マザーガラス素材と前記一対の外側の単位マザーガラス素材の上面は、前記溶接部が形成された後、エッチングによって実質的に同一の平面をなすように表面処理が行われたことを特徴とする、
請求項６に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクの製造設備。
【請求項８】
前記一対の第１結合部は、「
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43
25
」状に形成され、
前記一対の第２結合部は、前記一対の第１結合部のそれぞれに段差結合するように「
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43
35
」状に形成され、
互いに結合した前記内側の単位マザーガラス素材と前記一対の外側の単位マザーガラス素材の上面は、前記溶接部が形成された後、エッチングによって実質的に同一の平面をなすように表面処理が行われたことを特徴とする、
請求項６に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクの製造設備。
【請求項９】
前記一対の第１結合部は、「
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42
25
」状に形成され、
前記一対の第２結合部は、前記一対の第１結合部のそれぞれに段差結合するように「
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41
23
」状に形成され、
互いに結合した前記一対の第１結合部と前記一対の第２結合部との間には、一定深みの空間が形成され、前記空間には溶接部が満たされて形成され、
互いに結合した前記内側の単位マザーガラス素材と前記一対の外側の単位マザーガラス素材の上面は、前記溶接部が形成された後、前記溶接部の上面と共にエッチングによって実質的に同一の平面をなすように表面処理が行われたことを特徴とする、
請求項６に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクの製造設備。
【請求項１０】
請求項６に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクの製造設備を用いてメタルマスクを製造することを特徴とする、
ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク及びその製造工程、ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクの製造設備に関し、より詳細は、要求される様々なサイズを形成するように、単位マザーガラス素材を互いに結合及び溶接して形成することによって、８世代ハーフ（Ｈａｌｆ）マザーガラス用に対応可能な１４００ｍｍ幅以上のマザーガラス素材を製造することができる、ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク及びその製造工程、ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクの製造設備に関する。
続きを表示（約 960 文字）【背景技術】
【０００２】
ＯＬＥＤメタルマスクは、ＯＬＥＤディスプレイの製造に使用される核心部品である。これは、精密なパターンを有する金属薄膜から作られて、ＯＬＥＤ素子の発光有機物を正確に蒸着する働きをする。
【０００３】
ＯＬＥＤメタルマスクの製造工程は、大きく基板準備段階－＞パターン形成段階－＞エッチング検査及び補正段階－＞仕上げ処理段階－＞品質管理段階－＞包装及び出荷段階に分けられる。
【０００４】
上前記基板準備段階では、ニッケル、鉄合金、ステンレススチールなどの金属基板素材を選択する。次いで、基板の表面を酸洗い、プラズマ処理などによってきれいにして、酸化物を除去する表面処理を行う。次いで、ローラ研磨、圧延などによって基板の平坦度を高める。
【０００５】
上記パターン形成段階では、要求されるパターンをなすフォトマスクを製作する。次いで、フォトマスクを用いてフォトレジスト（ＰＲ；ＰｈｏｔｏＲｅｓｉｓｔ）にパターンを透写して露光する。そして、前記露光されたフォトレジストを現像して、要求するパターンを形成する。
【０００６】
上記エッチング段階では、フォトレジストパターンによって設定されたエッチング液を選択する。次いで、エッチング液を用いてフォトレジストパターンによって金属基板をエッチングした後、残存するフォトレジストを除去する（リフトオフ）。
【０００７】
上記検査及び補正段階では、光学顕微鏡、ＳＥＭなどを用いてパターンの正確性を検査し、エッチングの不良、パターンの損傷などの欠陷を補正する。
【０００８】
上記仕上げ処理段階では、金属の表面を酸化、腐食から保護するために、コートした後、ＯＬＥＤディスプレイに取り付けられるようにフレームを付着する。
【０００９】
上記品質管理段階では、パターンの正確性、寸法などを測定して品質管理を行い、ＯＬＥＤディスプレイに取り付けて機能検査を行う。
【００１０】
上記包装及び出荷段階では、製作されたＯＬＥＤメタルマスクを安全に包装して、これを顧客に出荷する。
（【００１１】以降は省略されています）

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