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公開番号2025104830
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-10
出願番号2023222956
出願日2023-12-28
発明の名称光導波路の製造方法
出願人味の素株式会社,個人
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G02B 6/138 20060101AFI20250703BHJP(光学)
要約【課題】伝送損失が低く、かつ、針状部の抜去時におけるコア部の位置ずれを抑制できる光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】クラッド用感光性樹脂組成物で形成された未硬化のクラッド部に、吐出部先端の針状部を刺入する第一工程と、針状部からコア用感光性樹脂組成物を吐出させながら、針状部を未硬化のクラッド部内で相対的に移動させて、未硬化のクラッド部に周囲を被覆された未硬化のコア部を形成する第二工程と、針状部を未硬化のクラッド部から抜去する第三工程と、未硬化のクラッド部及び未硬化のコア部を硬化させる第四工程と、を含む、光導波路の製造方法であって:コア用感光性樹脂組成物及びクラッド用感光性樹脂組成物が、ウレタン(メタ)アクリレート樹脂及びエポキシ(メタ)アクリレート樹脂からなる群より選ばれる1種類以上の(メタ)アクリレート樹脂を含む、光導波路の製造方法。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
クラッド用感光性樹脂組成物で形成された未硬化のクラッド部に、吐出部先端の針状部を刺入する第一工程と、
針状部からコア用感光性樹脂組成物を吐出させながら、針状部を未硬化のクラッド部内で相対的に移動させて、未硬化のクラッド部に周囲を被覆された未硬化のコア部を形成する第二工程と、
針状部を未硬化のクラッド部から抜去する第三工程と、
未硬化のクラッド部及び未硬化のコア部を硬化させる第四工程と、を含む、光導波路の製造方法であって；
コア用感光性樹脂組成物が、ウレタン（メタ）アクリレート樹脂及びエポキシ（メタ）アクリレート樹脂からなる群より選ばれる１種類以上の（メタ）アクリレート樹脂を含み、
クラッド用感光性樹脂組成物が、ウレタン（メタ）アクリレート樹脂及びエポキシ（メタ）アクリレート樹脂からなる群より選ばれる１種類以上の（メタ）アクリレート樹脂を含む、光導波路の製造方法。
続きを表示（約 710 文字）【請求項２】
コア用感光性樹脂組成物に含まれる（メタ）アクリレート樹脂が、ポリエーテル骨格を含有するウレタン（メタ）アクリレート樹脂、並びに、ビスフェノールＡ骨格を含有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂からなる群より選ばれる１種類以上を含む、請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項３】
コア用感光性樹脂組成物が、当該コア用感光性樹脂組成物の不揮発成分１００質量％に対して、（メタ）アクリレート樹脂を７０質量％以上含む、請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項４】
クラッド用感光性樹脂組成物が、当該クラッド用感光性樹脂組成物の不揮発成分１００質量％に対して、（メタ）アクリレート樹脂を７０質量％以上含む、請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項５】
下記式（１）で表されるパラメータＤ
ｃｌａｄ
が、４００以上５０００以下である、請求項１に記載の光導波路の製造方法。
TIFF
2025104830000010.tif
16
170
（式（１）において、
Ｗ
ｃｌａｄ
は、クラッド用感光性樹脂組成物に含まれる各（メタ）アクリレート樹脂の、クラッド用感光性樹脂組成物の不揮発成分１００質量％を基準とした含有率（質量％）を表し、
Ｃ
ｃｌａｄ
は、クラッド用感光性樹脂組成物に含まれる各（メタ）アクリレート樹脂の重量平均分子量Ｍｗを当該（メタ）アクリレート樹脂１分子が有する（メタ）アクリロイル基の数Ｎで割った値Ｍｗ／Ｎを表す。）

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、大容量情報伝送を見据え、光信号による伝送の研究が活発に行われている。それらの研究の進展に伴い、従来の電子回路は、段階的に光回路に置き換っていくと考えられている。よって、光及び電気の回路が混在する光電融合回路（ＣＰＯ）が有望視されている。
【０００３】
高速伝送を達成するためには、光回路を形成するための光導波路として、シングルモードの光導波路が望ましい。シングルモードの光導波路には、当該光導波路の低損失化に加えて、自在な光導波路の形成、及び、光導波路の正確な位置合わせが要求される。これらの要求を満たす光導波路の形成のため、モスキート法による光導波路の検討がなされている（特許文献１及び２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０１８／１３９６５２号
特許第６１５６６７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
モスキート法では、一般に、未硬化のコア材料を吐出可能な針状部を先端に備えた吐出部を含む塗布装置を用いて、光導波路を製造する。具体的には、未硬化のクラッド部に針状部を刺し入れる。次いで、針状部をクラッド部内で移動させながら、針状部からコア材料を吐出する。吐出されたコア材料により、未硬化のコア部がクラッド部内に形成される。その後、コア部の吐出を停止し、針状部を抜去してから、コア部及びクラッド部を硬化させて、光導波路を得る。このモスキート法では、針状部の移動経路に応じた自由なデザインのコア部をクラッド部内に形成することが期待できる。
【０００６】
ところが、従来のモスキート法では、クラッド部から針状部を抜去する時に、コア材料の糸引きが生じていた。このコア材料の「糸引き」は、クラッド部内に吐出されたコア材料の一部（通常は、針状部に近いコア部の端部）が糸状に伸びる現象を表す。糸引きが生じると、コア材料が針状部に引っ張られるように移動するので、当該移動した部分においてコア部は所望の位置に留まることはできず、位置ずれの原因となりうる。よって、コア部を高い位置精度で形成するためには、光導波路に求められる低い伝送損失を達成しながら、前記のように針状部を抜去する時の位置ずれを抑制することが望まれる。
【０００７】
本発明は、前記の課題に鑑みて創案されたもので、伝送損失が低く、かつ、針状部の抜去時におけるコア部の位置ずれを抑制できる光導波路の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、前記の課題を解決するべく鋭意検討した。その結果、本発明者は、モスキート法に用いるコア用感光性樹脂組成物として特定の種類の（メタ）アクリレート樹脂を含むものを用い、かつ、クラッド用感光性樹脂組成物として特定の種類の（メタ）アクリレート樹脂を含むものを用いる場合に、前記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
即ち、本発明は、下記のものを含む。
【０００９】
＜１＞クラッド用感光性樹脂組成物で形成された未硬化のクラッド部に、吐出部先端の針状部を刺入する第一工程と、
針状部からコア用感光性樹脂組成物を吐出させながら、針状部を未硬化のクラッド部内で相対的に移動させて、未硬化のクラッド部に周囲を被覆された未硬化のコア部を形成する第二工程と、
針状部を未硬化のクラッド部から抜去する第三工程と、
未硬化のクラッド部及び未硬化のコア部を硬化させる第四工程と、を含む、光導波路の製造方法であって；
コア用感光性樹脂組成物が、ウレタン（メタ）アクリレート樹脂及びエポキシ（メタ）アクリレート樹脂からなる群より選ばれる１種類以上の（メタ）アクリレート樹脂を含み、
クラッド用感光性樹脂組成物が、ウレタン（メタ）アクリレート樹脂及びエポキシ（メタ）アクリレート樹脂からなる群より選ばれる１種類以上の（メタ）アクリレート樹脂を含む、光導波路の製造方法。
＜２＞コア用感光性樹脂組成物に含まれる（メタ）アクリレート樹脂が、ポリエーテル骨格を含有するウレタン（メタ）アクリレート樹脂、並びに、ビスフェノールＡ骨格を含有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂からなる群より選ばれる１種類以上を含む、＜１＞に記載の光導波路の製造方法。
＜３＞コア用感光性樹脂組成物が、当該コア用感光性樹脂組成物の不揮発成分１００質量％に対して、（メタ）アクリレート樹脂を７０質量％以上含む、＜１＞又は＜２＞に記載の光導波路の製造方法。
＜４＞クラッド用感光性樹脂組成物が、当該クラッド用感光性樹脂組成物の不揮発成分１００質量％に対して、（メタ）アクリレート樹脂を７０質量％以上含む、＜１＞～＜３＞のいずれか１項に記載の光導波路の製造方法。
＜５＞下記式（１）で表されるパラメータＤ
ｃｌａｄ
が、４００以上５０００以下である、＜１＞～＜４＞のいずれか１項に記載の光導波路の製造方法。
TIFF
2025104830000002.tif
14
170
（式（１）において、
Ｗ
ｃｌａｄ
は、クラッド用感光性樹脂組成物に含まれる各（メタ）アクリレート樹脂の、クラッド用感光性樹脂組成物の不揮発成分１００質量％を基準とした含有率（質量％）を表し、
Ｃ
ｃｌａｄ
は、クラッド用感光性樹脂組成物に含まれる各（メタ）アクリレート樹脂の重量平均分子量Ｍｗを当該（メタ）アクリレート樹脂１分子が有する（メタ）アクリロイル基の数Ｎで割った値Ｍｗ／Ｎを表す。）
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、伝送損失が低く、かつ、針状部の抜去時におけるコア部の位置ずれを抑制できる光導波路の製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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