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公開番号2025092399
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-19
出願番号2024154673
出願日2024-09-09
発明の名称溝状のダイ剥離装置及び方法
出願人梭特科技股分有限公司
代理人弁理士法人筒井国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250612BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ダイをキャリアフィルムのダイ載置領域から比較的緩やかに分離する溝状のダイ剥離装置を提供する。
【解決手段】本体及び真空装置を備える溝状のダイ剥離装置であって、本体10は、上面に配置されるフィルム剥離溝11と、フィルム剥離溝の第1端に設置され、歯部121及び隣接する2つの歯部の間にそれぞれ形成される溝122を備える櫛形構造12と、内部に配置される通路と、通路にそれぞれ連通され、少なくとも1つがフィルム剥離溝の第1端に連通される通り穴14と、を備える。真空装置は通路に接続される。これにより、溝状のダイ剥離装置は、フィルム剥離溝と櫛形構造が負圧を合わせることによって対象ダイをキャリアフィルムから比較的緩やかに分離することができ、応力集中の問題がなく、対象ダイが破損されたり、キャリアフィルムが破損されて対象ダイの表面に残留されたりすることが回避できる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
上面に配置されるフィルム剥離溝と、前記フィルム剥離溝の第１端に設置され、複数の歯部及び隣接する２つの歯部の間にそれぞれ形成される複数の溝を備える櫛形構造と、内部に配置される通路と、前記通路にそれぞれ連通され、少なくとも１つが前記フィルム剥離溝の前記第１端に連通される複数の通り穴と、を備える本体と、
前記通路に接続される真空装置と、を備える、
溝状のダイ剥離装置。
続きを表示（約 2,100 文字）【請求項２】
前記フィルム剥離溝の底部には、前記フィルム剥離溝の前記第１端から前記フィルム剥離溝の第２端への方向に上向きに延びているスロープがあり、前記フィルム剥離溝の幅はダイの幅よりも大きい、
請求項１に記載の溝状のダイ剥離装置。
【請求項３】
前記スロープは平面である、
請求項２に記載の溝状のダイ剥離装置。
【請求項４】
前記複数の通り穴の少なくとも２つは、前記複数の歯部の少なくとも２つの一側にそれぞれ位置される、
請求項１に記載の溝状のダイ剥離装置。
【請求項５】
画像キャプチャユニット及び処理ユニットをさらに備え、前記画像キャプチャユニットは、前記本体の中心の上方に配置され、前記処理ユニットに電気的に接続される、
請求項１に記載の溝状のダイ剥離装置。
【請求項６】
(ａ)キャリアフィルムを溝状のダイ剥離装置の本体上に移動する工程と、
(ｂ)前記キャリアフィルムのダイ載置領域上における対象ダイの第１端が前記本体の櫛形構造の複数の歯部からはみ出すように、前記本体を移動する工程と、
(ｃ)真空装置により前記本体の通路を抽気して、真空状態を発生させるとともに負圧を供給し、前記負圧が前記本体の前記通路、複数の通り穴、及び前記櫛形構造の複数の溝を順に通過し、前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域を吸着するとともに前記対象ダイを固定し、それと同時に、前記キャリアフィルムの他のダイ載置領域が折り曲げられて前記本体のフィルム剥離溝に入り込んで、前記対象ダイの前記第１端を前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域から離脱させる工程と、
(ｄ)前記真空装置により前記通路に対する抽気を停止して前記負圧の供給を停止させ、前記キャリアフィルムの前記他のダイ載置領域を大気圧によって元に戻して前記フィルム剥離溝から離れ、かつ前記対象ダイの前記第１端が前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域から離脱することを保持する工程と、
(ｅ)工程(ｂ)～工程(ｄ)を繰り返し、前記対象ダイをその第１端からその第２端への方向に前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域から徐々に離脱させる工程と、
(ｆ)前記対象ダイの前記第２端が前記複数の歯部の上方に位置されると、前記真空装置により前記通路を抽気し、真空状態を発生させるとともに負圧を供給し、前記負圧が前記通路、前記複数の通り穴の少なくとも１つ、及び前記複数の溝を通過し、前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域を吸着するとともに前記対象ダイの前記第２端を固定する工程と、
(ｇ)前記対象ダイの前記第２端が前記複数の歯部からはみ出すように前記本体を移動し、それと同時に、前記真空装置により前記通路に対する抽気を停止して前記負圧の供給を停止させ、前記対象ダイを前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域から完全に離脱させる工程と、を備える、
溝状のダイ剥離方法。
【請求項７】
工程(ｃ)は、前記キャリアフィルムの前記他のダイ載置領域は、前記フィルム剥離溝の底部にあるスロープに当接され、前記スロープは、前記フィルム剥離溝の前記第１端から前記フィルム剥離溝の第２端への方向に上向きに延びており、前記フィルム剥離溝の幅はダイの幅よりも大きく、前記キャリアフィルムの前記他のダイ載置領域上における他のダイが前記フィルム剥離溝に位置されることをさらに備える、
請求項６に記載のダイ剥離方法。
【請求項８】
工程(ｃ)は、前記キャリアフィルムの前記他のダイ載置領域の底面は前記スロープに平坦に貼り付けられ、前記他のダイの底面を前記キャリアフィルムの前記他のダイ載置領域に平坦に貼り付けることをさらに備える、
請求項７に記載のダイ剥離方法。
【請求項９】
工程(ｃ)は、前記複数の通り穴の少なくとも２つは、前記複数の歯部の少なくとも２つの一側にそれぞれ位置され、前記負圧は前記複数の通り穴の少なくとも２つを通過して前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域を均一に吸着し、前記対象ダイの前記第１端を前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域から完全に離脱させることをさらに備える、
請求項６に記載のダイ剥離方法。
【請求項１０】
工程(ａ)と工程(ｂ)の間には、(ｈ)前記溝状のダイ剥離装置の画像キャプチャユニットにより前記対象ダイの画像をキャプチャし、前記溝状のダイ剥離装置の処理ユニットにより前記対象ダイの画像を受信し、前記対象ダイの画像に基づいて前記対象ダイと前記本体の中心との距離を算出し、前記処理ユニットにより前記対象ダイと前記本体の中心との距離に基づいて前記キャリアフィルムを制御し、前記対象ダイを前記本体の中心に移動させ、前記対象ダイを前記フィルム剥離溝に位置合わせる工程をさらに備える、
請求項６に記載のダイ剥離方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明はダイ剥離装置及び方法に関し、特に溝状のダイ剥離装置及び方法に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェーハが複数のダイに分割された後、これらのダイがキャリアフィルムから基板上に移転される。移転過程において、まず、支持装置によりキャリアフィルムのダイ載置領域を支持する。次に、理想的な状態では、複数の押上部材が支持装置の内部から支持装置の外部に上昇し、かつキャリアフィルムのダイ載置領域を介して対象ダイを押して上昇させることにより、対象ダイの周りがキャリアフィルムのダイ載置領域の周りから分離され、かつ対象ダイの中心がキャリアフィルムのダイ載置領域の中心からも分離される。対象ダイの上昇過程において、対象ダイはダイ固定装置に接触し、ダイ固定装置により対象ダイを吸着する。最後に、これらの押上部材が支持装置の内部までに下降し、それと同時にダイ固定装置により対象ダイを基板上に移動させる。
【０００３】
しかしながら、これらの押上部材がキャリアフィルムのダイ載置領域を介して対象ダイを押して上昇させる時に、これらの押上部材の先端が比較的に鋭く、応力が過度に集中しやすくなるため、対象ダイが破損されたり、キャリアフィルムが破損されて対象ダイの表面に残留されたりしてしまうことがよくある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の主な目的は、対象ダイをキャリアフィルムのダイ載置領域から比較的緩やかに分離することができる、溝状のダイ剥離装置及び方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記した目的を達成するために、本発明は、本体と真空装置とを備える槽状のダイ剥離装置を提供する。前記本体は、上面に配置されるフィルム剥離溝と、前記フィルム剥離溝の第１端に設置され、複数の歯部及び隣接する２つの歯部の間にそれぞれ形成される複数の溝を備える櫛形構造と、内部に配置される通路と、前記通路にそれぞれ連通され、少なくとも１つが前記フィルム剥離溝の前記第１端に連通される複数の通り穴と、を備える。前記真空装置は前記通路に接続される。
【０００６】
いくつかの実施例では、前記フィルム剥離溝の底部には、前記フィルム剥離溝の前記第１端から前記フィルム剥離溝の第２端への方向に上向きに延びているスロープがあり、前記フィルム剥離溝の幅はダイの幅よりも大きい。
【０００７】
いくつかの実施例では、前記スロープは平面である。
【０００８】
いくつかの実施例では、前記複数の通り穴の少なくとも２つは、前記複数の歯部の少なくとも２つの一側にそれぞれ位置される。
【０００９】
いくつかの実施例では、前記溝状のダイ剥離装置は、画像キャプチャユニット及び処理ユニットをさらに備え、前記画像キャプチャユニットは、前記本体の中心の上方に配置され、前記処理ユニットに電気的に接続される。
【００１０】
前述した目的を達成するために、本発明は、(ａ)キャリアフィルムを溝状のダイ剥離装置の本体上に移動する工程と、(ｂ)前記キャリアフィルムのダイ載置領域上における対象ダイの第１端が前記本体の櫛形構造の複数の歯部からはみ出すように、前記本体を移動する工程と、(ｃ)真空装置により前記本体の通路を抽気して、真空状態を発生させるとともに負圧を供給し、前記負圧が前記本体の前記通路、複数の通り穴、及び前記櫛形構造の複数の溝を順に通過し、前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域を吸着するとともに前記対象ダイを固定し、それと同時に、前記キャリアフィルムの他のダイ載置領域が折り曲げられて前記本体のフィルム剥離溝に入り込んで、前記対象ダイの前記第１端を前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域から離脱させる工程と、(ｄ)前記真空装置により前記通路に対する抽気を停止して前記負圧の供給を停止させ、前記キャリアフィルムの前記他のダイ載置領域を大気圧によって元に戻して前記フィルム剥離溝から離れ、かつ前記対象ダイの前記第１端が前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域から離脱することを保持する工程と、(ｅ)工程(ｂ)～工程(ｄ)を繰り返し、前記対象ダイをその第１端からその第２端への方向に前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域から徐々に離脱させる工程と、(ｆ)前記対象ダイの前記第２端が前記複数の歯部の上方に位置されると、前記真空装置により前記通路を抽気し、真空状態を発生させるとともに負圧を供給し、前記負圧が前記通路、前記複数の通り穴の少なくとも１つ、及び前記複数の溝を通過し、前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域を吸着するとともに前記対象ダイの前記第２端を固定する工程と、(ｇ)前記対象ダイの前記第２端が前記複数の歯部からはみ出すように前記本体を移動し、それと同時に、前記真空装置により前記通路に対する抽気を停止して前記負圧の供給を停止させ、前記対象ダイを前記キャリアフィルムの前記ダイ載置領域から完全に離脱させる工程と、を備える溝状のダイ剥離方法を提供する。
（【００１１】以降は省略されています）

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