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公開番号2025018705
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-06
出願番号2023122658
出願日2023-07-27
発明の名称熱電変換素子、熱電変換モジュール、広帯域イメージセンサー、熱電変換素子の製造方法
出願人学校法人東海大学
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H10N 10/855 20230101AFI20250130BHJP()
要約【課題】薄膜化が容易であり、かつ物理的な強度や耐久性に優れた熱電変換素子、熱電変換モジュール、広帯域イメージセンサー、および熱電変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板の一主面に形成される、p型半導体領域とn型半導体領域とを有する半導体層と、前記半導体層に電気的に接続される電極層と、を有し、前記基板は、波長が0.2μm以上、100μm以下の範囲の任意の帯域の電磁波の吸収率が前記半導体層よりも小さい材料から構成され、前記基板は、前記半導体層の周縁よりも外側まで広がるように形成され、前記半導体層は繊維状炭素ナノ構造体を含み、前記半導体層の前記p型半導体領域と前記n型半導体領域との接合部は、前記基板の一主面に接している。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
基板と、前記基板の一主面に形成される、p型半導体領域とn型半導体領域とを有する半導体層と、前記半導体層に電気的に接続される電極層と、を有し、
前記基板は、波長が0.2μm以上、100μm以下の範囲の任意の帯域の電磁波の吸収率が前記半導体層よりも小さい材料から構成され、
前記基板は、前記半導体層の周縁よりも外側まで広がるように形成され、
前記半導体層は繊維状炭素ナノ構造体を含み、
前記半導体層の前記p型半導体領域と前記n型半導体領域との接合部は、前記基板の一主面に接していることを特徴とする熱電変換素子。
続きを表示(約 690 文字)【請求項2】
前記繊維状炭素ナノ構造体は、カーボンナノチューブから構成されることを特徴とする請求項1に記載の熱電変換素子。
【請求項3】
前記カーボンナノチューブは、直径が0.5nm以上15nm以下であることを特徴とする請求項2に記載の熱電変換素子。
【請求項4】
前記p型半導体領域と前記n型半導体領域との接合部には、更にi型半導体領域が形成されることを特徴とする請求項1または2に記載の熱電変換素子。
【請求項5】
前記基板は、フレキシブル基板であることを特徴とする請求項1または2に記載の熱電変換素子。
【請求項6】
前記基板は、前記電磁波を透過可能な材料から構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の熱電変換素子。
【請求項7】
前記基板は、ポリイミドフィルム、シクロオレフィン、ベンゾシクロブテンのうち、少なくとも1つを含むフィルムから構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の熱電変換素子。
【請求項8】
前記n型半導体領域は、前記繊維状炭素ナノ構造体とイオン性界面活性剤との還元焼成物を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の熱電変換素子。
【請求項9】
前記イオン性界面活性剤が、アニオン系界面活性剤であることを特徴とする請求項8に記載の熱電変換素子。
【請求項10】
請求項1または2に記載の熱電変換素子を複数備えたことを特徴とする熱電変換モジュール。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、熱電変換素子、熱電変換モジュール、広帯域イメージセンサー、および熱電変換素子の製造方法に関する。
続きを表示(約 1,500 文字)【背景技術】
【0002】
近年、IoT(モノのインターネット)技術を支える持続的電源として、身の回りにあるエネルギーを活用するEH(Energy Harvesting)技術を用いた電源が注目されている。このような電源に使用される発電素子の1つとして、熱電変換素子がある。熱電変換素子は、物質の両端に温度差を生じさせると電圧が生じるという「ゼーべック効果」を利用した素子であり、通常、n(ネガティブ)型の熱電変換材料とp(ポジティブ)型の熱電変換材料とを組み合わせて構成する。
【0003】
ここで、熱電変換素子を形成する熱電変換材料の1つとして、導電性に優れ、ドーピング材料によりn型またはp型に制御できること等から、カーボンナノチューブ(以下、単に「CNT」ともいう)などの繊維状炭素ナノ構造体が使用されている。CNTは作製された時点ではn型であるが、大気に暴露すると酸化されてp型に戻ることが知られている。そこで、有機系材料を用いてドーピングすることでCNTをn型に維持する技術が提案されている(例えば、特許文献1~2、非特許文献1~3を参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特許第5768299号公報
特許第6340077号公報
【非特許文献】
【0005】
Y. Nonoguchiet.al., Chem. Asian J. 13 (2018) 3942-3946.
Y. Nonoguchiet.al., Adv. Funct. Mater. 26 (2016) 302-3028.
N. Nakashima et.al., Sic. Rep. 5 (2015) 7951
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかし、上述した各文献では、pn接合部分を積層型やブリッジ型にしており、薄膜化が困難であった。また、物理的な強度や耐久性の面でも課題があった。
【0007】
本発明は、このような技術的背景に鑑みてなされたものであって、薄膜化が容易であり、かつ物理的な強度や耐久性に優れた熱電変換素子、熱電変換モジュール、広帯域イメージセンサー、および熱電変換素子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明者は、p型半導体領域とn型半導体領域とを有し、繊維状炭素ナノ構造体を含む半導体層と、この半導体層を形成する基板との間で表面積を異ならせることで、電磁波の照射によって半導体層の中心から周縁に向けて温度勾配が生じ、熱電効果が得られることを見出した。
【0009】
本発明の一実施形態の熱電変換素子は、以下の構成を提案している。
(1)本発明の態様1の熱電変換素子は、基板と、前記基板の一主面に形成される、p型半導体領域とn型半導体領域とを有する半導体層と、前記半導体層に電気的に接続される電極層と、を有し、前記基板は、波長が0.2μm以上、100μm以下の範囲の任意の帯域の電磁波の吸収率が前記半導体層よりも小さい材料から構成され、前記基板は、前記半導体層の周縁よりも外側まで広がるように形成され、前記半導体層は繊維状炭素ナノ構造体を含み、前記半導体層の前記p型半導体領域と前記n型半導体領域との接合部は、前記基板の一主面に接していることを特徴とする。
【0010】
(2)本発明の態様2は、態様1の熱電変換素子において、前記繊維状炭素ナノ構造体は、カーボンナノチューブから構成されることを特徴とする。
(【0011】以降は省略されています)

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