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公開番号2024156009
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-31
出願番号2024146205,2020086324
出願日2024-08-28,2020-05-15
発明の名称接合装置および接合方法
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/02 20060101AFI20241024BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板の接合精度を向上させる技術を提供する。
【解決手段】実施形態に係る接合装置は、保持部と、押圧部と、曲率調整部とを備える。保持部は、接合される基板を吸着保持する。押圧部は、保持部に吸着保持された基板の中心部に接触して基板を押圧し、基板の中心部を突出させる。曲率調整部は、押圧部によって押圧された基板の曲率を調整する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
接合される基板を吸着保持する保持部と、
前記保持部に吸着保持された前記基板の中心部に接触して前記基板を押圧し、前記基板の中心部を突出させる押圧部と、
前記押圧部によって押圧された前記基板の曲率を調整する曲率調整部と
を備える接合装置。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記曲率調整部は、前記押圧部によって押圧された前記基板に向けてガスを供給する
請求項１に記載の接合装置。
【請求項３】
前記ガスの温度を調整する温調部
を備える請求項２に記載の接合装置。
【請求項４】
前記曲率調整部は、前記基板に接触して前記基板を押圧する
請求項１に記載の接合装置。
【請求項５】
前記曲率調整部は、前記保持部の周方向に沿って複数設けられる
請求項１～４のいずれか１つに記載の接合装置。
【請求項６】
前記保持部は、前記保持部の周方向に沿って複数設けられる吸着パッド
を備え、
前記曲率調整部は、前記押圧部と、前記吸着パッドとの間に設けられる
請求項１～５のいずれか１つに記載の接合装置。
【請求項７】
前記押圧部によって押圧された前記基板の非接合面側の空気を吸引する吸引装置
を備える請求項１～６のいずれか１つに記載の接合装置。
【請求項８】
前記保持部の下方に設けられ、前記保持部に吸着保持される前記基板と接合される基板を保持する下方保持部
を備える請求項１～７のいずれか１つに記載の接合装置。
【請求項９】
接合される基板を吸着保持する保持工程と、
吸着保持された前記基板の中心部に接触する押圧部によって前記基板を押圧する押圧工程と、
前記押圧部によって押圧された前記基板の曲率を調整する調整工程と
を有する接合方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、接合装置および接合方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、第１基板の中心部を押動部材によって押圧し、第２基板に向けて中心部を突出させた状態で、第１基板と第２基板との接合を開始させることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－１５３９５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、基板の接合精度を向上させる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様による接合装置は、保持部と、押圧部と、曲率調整部とを備える。保持部は、接合される基板を吸着保持する。押圧部は、保持部に吸着保持された基板の中心部に接触して基板を押圧し、基板の中心部を突出させる。曲率調整部は、押圧部によって押圧された基板の曲率を調整する。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、基板の接合精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、第１実施形態に係る接合システムの構成を示す模式図である。
図２は、第１実施形態に係る第１基板および第２基板の接合前の状態を示す模式図である。
図３は、第１実施形態に係る接合装置の構成を示す模式図である。
図４は、第１実施形態に係る接合処理を説明するフローチャートである。
図５は、第１実施形態に係る第１基板の中心部付近の変位量を示す図である。
図６は、第１実施形態に係る接合処理における第１基板の中心部付近の伸びを示す図である。
図７は、第２実施形態に係る接合装置の構成を示す模式図である。
図８は、第３実施形態に係る接合装置の構成を示す模式図である。
図９は、第４実施形態に係る接合装置の構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に、本開示による接合装置および接合方法を実施するための形態（以下、「実施形態」と記載する）について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施形態により本開示による接合装置および接合方法が限定されるものではない。また、各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。また、以下の各実施形態において同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略される。
【０００９】
また、以下に示す実施形態では、「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」といった表現が用いられる場合があるが、これらの表現は、厳密に「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」であることを要しない。すなわち、上記した各表現は、例えば製造精度、設置精度などのずれを許容するものとする。
【００１０】
また、以下参照する各図面では、説明を分かりやすくするために、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向を規定し、Ｚ軸正方向を鉛直上向き方向とする直交座標系を示す場合がある。また、鉛直軸を回転中心とする回転方向をθ方向と呼ぶ場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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