意匠ウォッチ

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発行日2025-01-29
公報種別意匠公報(S)
登録番号1790116
登録日2025-01-21
意匠に係る物品半導体製造装置の処理カップ洗浄用部品
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024017278
出願日2024-08-22
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人,個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造における洗浄工程において、基板処理装置内の処理カップの内側に付着した処理液を除去するために用いる部品である。本物品は、例えば、基板の周縁塗布を行う周縁処理装置の処理カップ内において、回転体に取り付けて使用される。処理カップの洗浄の際には、回転体によって本物品を回転させ、洗浄ノズルから洗浄液を本物品の底部開口部に供給し、本物品内の流路を経由させて本物品の外周部開口部から処理カップの内側に向けて吐出させる。
意匠の説明実線で表した部分が部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。

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