意匠ウォッチ

発行日2025-01-29
公報種別意匠公報(S)
登録番号1790112
登録日2025-01-21
意匠に係る物品塗布現像装置
意匠分類K0-70(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024015098
出願日2024-07-22
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人,個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体ウエハなどの基板に塗布処理、現像処理、熱処理等を施すための塗布現像装置である。本物品は、正面図において左側に位置する搬送室と、中央に位置する基板処理室と、右側に位置する搬送室とを備えている。左側に位置する搬送室は、カセットを上部(カセット搬出入用開口部)から内部に載置できるように構成されており、内部に、ローダー・アンローダーと、ローダー・アンローダーに隣接して搬送アームなどの搬送機構を備えると共に、正面部にコントロールパネルを備えている。中央に位置する基板処理室は、例えばフォトレジストを塗布する塗布処理装置、現像処理装置、加熱処理装置、搬送処理装置等の各処理装置を収容可能な複数の装置収容ボックスを備えている。右側に位置する搬送室は、本物品に隣接して設置される露光装置等との間で基板の受け渡しを行うための搬送機構を備えている。
意匠の説明重量物のため底面図は省略する。「透光性を有する部分を示す参考後方斜視図」において薄墨を施した部分は透光性を有する部分である。

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