意匠ウォッチ

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発行日2025-01-29
公報種別意匠公報(S)
登録番号1790104
登録日2025-01-21
意匠に係る物品基板搬送アームの位置検出センサー用ブラケット
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024013255
出願日2024-06-27
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人,個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、塗布現像装置(半導体ウエハなどの基板に塗布処理、現像処理、熱処理等を施すための装置)等の半導体製造装置に使用される基板搬送アームにおいて、基板の位置ずれを検出する位置検出センサーを固定するためのブラケットである。本物品を使用した基板搬送アームは、温度測定用基板及びデータロガーを搭載することができるため、塗布現像装置内の熱処理モジュール等の温度測定を自動で行うことができる。
意匠の説明実線で表した部分が部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。一点鎖線は、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分とその他の部分との境界のみを示す線である。

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