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公開番号2025113254
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-01
出願番号2025067262,2024007319
出願日2025-04-16,2024-01-22
発明の名称太陽電池の製造方法及び太陽電池
出願人株式会社PXP,株式会社SOLABLE
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H10F 10/167 20250101AFI20250725BHJP()
要約【課題】高性能でデザイン性を有する太陽電池とする、太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】
太陽電池の受光面側の透明導電層の上に銀を含むグリッド電極を形成する工程と、上記透明導電層及び上記グリッド電極の表面に、酸素を含むガスを供給しながらスパッタリング法により酸化物絶縁膜を形成する工程と、を備え、上記酸化物絶縁膜を形成する工程において、上記グリッド電極と上記酸化物絶縁膜の間に酸化銀膜が形成される、太陽電池の製造方法。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
太陽電池の受光面側の透明電極層の上に銀を含むグリッド電極を形成する工程と、
前記透明電極層及び前記グリッド電極の表面に、酸素を含むガスを供給しながらスパッタリング法により酸化物絶縁膜を形成する工程と、を備え、
前記酸化物絶縁膜を形成する工程において、前記グリッド電極と前記酸化物絶縁膜の間に酸化銀膜が形成される、
太陽電池の製造方法。
続きを表示（約 590 文字）【請求項２】
酸素の含有量は、前記酸素を含むガス１００体積％に対し１０体積％以上６０体積％以下である、
請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項３】
前記酸化物絶縁膜を形成する工程は、温度８０℃以下で行われる、
請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項４】
受光面側に配置された透明電極層と、
前記透明電極層上に配置された、銀を含むグリッド電極と、
前記透明電極層及び前記グリッド電極を被覆する酸化物絶縁膜と、
前記グリッド電極と前記酸化物絶縁膜の間に位置する酸化銀膜と、を含む、
太陽電池。
【請求項５】
前記グリッド電極の幅に対する前記酸化銀膜の厚さの比は、０．００１以上０．０１以下である、
請求項４に記載の太陽電池。
【請求項６】
前記酸化物絶縁膜の屈折率は、１．５以上２．０以下である、
請求項４に記載の太陽電池。
【請求項７】
前記酸化物絶縁膜は、ＭｇＯ及びＡｌ
2
Ｏ
3
のうち少なくとも１種を含む、
請求項４に記載の太陽電池。
【請求項８】
前記酸化物絶縁膜の厚さは、５０ｎｍ以上９０ｎｍ以下である、
請求項４に記載の太陽電池。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池の製造方法及び太陽電池に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
太陽電池として、単結晶や多結晶のシリコン等の材料を用いて製造するシリコン太陽電池があるが、耐久性に優れている一方、製造コストが高く、厚みがあるため、大型発電施設に使用される。また、ガラスや金属等の基板上に薄い膜状の光吸収層を形成して太陽電池とする薄膜太陽電池がある。薄膜太陽電池は製造コストが安価であり、非常に薄いため、フレキシブルな態様で電子デバイスなどに利用することも可能である。このような特徴から、近年では、薄膜太陽電池の応用に向けて変換効率やデザイン性等についても様々な検討がされている。
【０００３】
そこで、デザイン性が求められる様々な電子デバイスの電極において、その表面を酸化させることで色を黒色化させる方法が考案されている。例えば、特許文献１では、タッチパネル等で使用されるガラス基板等の基材上に形成されたメッシュ状の銀配線を黒化する方法を提供することを目的として、銀配線の表面に対して、高出力で第１のプラズマ処理を行う工程と、低出力で第２のプラズマ処理を行う工程と、により、高純度で均一な銀酸化膜を銀配線の表面に形成し、銀配線を黒化できることが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１７－０７３００１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
太陽電池分野においても、銀電極に対するデザイン性の向上が求められる。しかしながら、特許文献１のような方法では、高出力及び低出力のプラズマ処理をそれぞれ行ったうえで、さらに空気中で加熱を行うため、銀の酸化反応が進み銀電極において酸化銀の割合が増え、電極の導電性が低下してしまったり、空気中の水分や酸素が太陽電池内に拡散して性能を低下させてしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、高性能とデザイン性を両立させた太陽電池の製造方法及び太陽電池を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態に係る太陽電池の製造方法は、太陽電池の受光面側の透明電極層の上に銀を含むグリッド電極を形成する工程と、上記透明電極層及び上記グリッド電極の表面に、酸素を含むガスを供給しながらスパッタリング法により酸化物絶縁膜を形成する工程と、を備え、上記酸化物絶縁膜を形成する工程において、上記グリッド電極と上記酸化物絶縁膜の間に酸化銀膜が形成される。
【０００８】
太陽電池の製造において、酸素を含むガスを供給しながらスパッタリング法により酸化物絶縁膜を形成する工程を備え、グリッド電極と酸化物絶縁膜の間に酸化銀膜が形成されることで、暗色系の酸化銀膜により太陽電池のデザイン性が向上し、高性能とデザイン性を両立させた太陽電池が得られる。
【０００９】
本発明の一実施形態に係る太陽電池は、受光面側に配置された透明電極層と、上記透明電極層上に配置された、銀を含むグリッド電極と、上記透明電極層及び上記グリッド電極を被覆する酸化物絶縁膜と、上記グリッド電極と上記酸化物絶縁膜の間に位置する酸化銀膜と、を含む。
【００１０】
太陽電池において、グリッド電極と酸化物絶縁膜との間に位置する暗色系の酸化銀膜により、太陽電池のデザイン性が向上し、高性能とデザイン性を両立させた太陽電池となる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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