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公開番号2025110035
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-28
出願番号2024003728
出願日2024-01-15
発明の名称ラインカメラの視点調整基準サンプル、均一視点調整装置及び均一視点調整方法
出願人株式会社アヤハエンジニアリング
代理人弁理士法人OHSHIMA&ASSOCIATES
主分類G01N 21/93 20060101AFI20250718BHJP(測定;試験)
要約【課題】乱透過光学系における検査装置において、複数台のラインカメラの視点調整を簡単にかつ効率よく行う。
【解決手段】断面を円弧状とし円弧の幅が異なる複数の溝を平行に設け、前記溝の深さを同一とし、溝を縦溝としたラインカメラの視点調整基準サンプル、ラインカメラの視点調整基準サンプルを用いた均一視点調整装置及び均一視点調整方法を提供し、複数のラインカメラが同一の調整度合いであることを容易に判定することができるようにする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
断面を円弧状とし円弧の幅が異なる複数の溝を平行に設け、前記溝の深さを同一とし、溝を縦溝としたことを特徴とするラインカメラの視点調整基準サンプル。
続きを表示（約 840 文字）【請求項２】
透光性を有する被検査体に光を照射するライン状の光源と、前記被検査体を挟んで前記光源と対向するようにライン状に配置され、移動する前記被検査体を透過した光を撮像する複数のラインカメラと、前記光源からの光の広がりをカットするスリットとを有する検査装置であって、
ラインカメラの視点調整基準サンプルを用いて、複数のラインカメラの視点の調整度合いを判定するラインカメラの均一視点調整装置。
【請求項３】
前記ラインカメラの視点調整基準サンプルを、被検査体の移動方向に対して角度をつけてワーク位置に設置することを特徴とする請求項２記載のラインカメラの均一視点調整装置。
【請求項４】
前記ラインカメラの視点調整基準サンプルを、被検査体の移動方向に対して角度をつけてワーク位置に設置するための設置治具を備えたことを特徴とする請求項２記載のラインカメラの均一視点調整装置。
【請求項５】
透光性を有する被検査体に光を照射するライン状の光源と、被検査体を挟んで光源と対向するようにライン状に配置され、移動する被検査体を透過した光を撮像する複数のラインカメラと、光源からの光の広がりをカットするスリットとを有する検査装置であって、
前記ラインカメラの視点調整基準サンプルを用いて、複数のラインカメラの視点の調整度合いを調整するラインカメラの均一視点調整方法。
【請求項６】
透光性を有する被検査体に光を照射するライン状の光源と、被検査体を挟んで光源と対向するようにライン状に配置され、移動する被検査体を透過した光を撮像する複数のラインカメラと、光源からの光の広がりをカットするスリットとを有する検査装置であって、
前記ラインカメラの視点調整基準サンプルを用いて、複数のラインカメラのそれぞれの受光量波形を計測して、ラインカメラの視点の調整度合いを調整するラインカメラの均一視点調整方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムやシートなどの透光性を有する被検査対象の欠陥を検査において、乱透過光学系における複数のラインカメラの視点調整をするにあたって使用するラインカメラの視点調整基準サンプル及び視点調整基準サンプルを使用したラインセンサの実装時のばらつきをなくす均一視点調整装置及び均一視点調整方法に関するものである。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
フィルム等の透光性を有する被検査体には、凹凸、フィッシュアイなどの透明な欠陥が発生する。このような欠陥の有無を検査するために、乱透過光学系の検査装置では、光源からライン状の光を照射し、スリットにより光の広がりを制限したスリット光を移動する被検査体に照射する。
【０００３】
ここで、乱透過光学系とは、スリットを挿入することにより、光の進む方向のばらつきを少なくすることをいい、凹凸欠陥に光が当たった時の光の屈折が強調される特徴を有する光学系をいう。これに対して、正透過光学系は、スリットを入れず、光源の光を全て当てるものをいい、凹凸欠陥に光が当たった時でも光の屈折が分かりにくい光学系をいう。このため、正透過光学系での検査では、欠陥を見つけられない場合がある。
【０００４】
被検査体を挟んで光源と対向するようにライン状に配置された複数のラインカメラが移動する被検査体を透過した光を撮像する。これらのラインカメラから出力された画像データに基づいて、被検査体の欠陥の有無が判別され、欠陥が検出された場合、欠陥の位置、形状などが特定するようにする。
【０００５】
このため、複数のラインカメラを実装する必要があり、ラインカメラのセンサによっては、個々のばらつきがあることがあり、均一でかつ同一の調整度合いに合わせる必要があり、その調整度合いを同一の検出レベルになるように、ラインカメラの調整が行われる。
【０００６】
例えば、検査装置の設置時や使用時にラインカメラの位置がずれただけで、検出レベルが変化し、均一な検出ができないおそれがある。
【０００７】
また、ラインカメラの位置ずれの把握を容易に行えるように、特許文献１では、光源の位置を調整して、それぞれの位置におけるラインセンサカメラの出力値に基づいてラインセンサカメラの位置が適正か否かを判断して、ラインセンサカメラの位置が適正でなければ、作業者は光源およびラインセンサカメラの位置を調整するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特許第６４５９０２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記の検査装置では、検査装置の感度を確認するために、実欠陥を走査位置に配置し、オシロスコープ等で検査波形を測定し、Ｓ／Ｎ及び信号レベルを測定するという方法を取って、光源を移動させて、その位置を調整して、ラインセンサカメラが位置ずれしているか否かを判別し、判別に基づきラインセンサカメラの位置調整を行っている。
【００１０】
このため、特に、多数の実機が設置されている場合、センサの位置設定を出力値との比により演算しエッジ量を算出しているに過ぎず、調整の目安となる指標がなく、調整に時間がかかることになる。
（【００１１】以降は省略されています）

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