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公開番号2025100467
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-03
出願番号2024223665
出願日2024-12-19
発明の名称接触クリーニングシステム、接着ロール及び接着ロールを形成する方法
出願人イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250626BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】接触クリーニングシステムにおける使用のための接着ロール、接触クリーニングシステム、及び、接触クリーニングシステムのための接着ロールを製造する方法の提供。
【解決手段】本発明は、接触クリーニングシステム及び接触クリーニングシステムのための接着ロールに関する。接着ロールは、ロール芯と、ロール芯上に巻き付けられた少なくとも1つの接着シートとを備えている。接着シート又は各接着シートは、前縁を備えており、少なくとも1つの接着シートのうちの1つ以上の前縁は、標識を備えており、及び/又はロール芯は、標識を備えている。接着基材材料を供給するステップと、接着基材材料を切断線において切断して接着シートを供給するステップと、接着シートの切断線を標識によりマーキングするステップと、接着シートをロール芯の周りに巻き付けるステップとを含む、接着ロールを形成する方法が更に開示される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項1】
接触クリーニングシステムにおける使用のための接着ロールであって、
ロール芯と、
前記ロール芯上に巻き付けられた少なくとも1つの接着シートと、
を備えており、
前記接着シート又は各接着シートは前縁を備えており、
前記少なくとも1つの接着シートのうちの1つ以上の前記前縁は標識を備えており、及び/又は
前記ロール芯は標識を備えている、
接着ロール。
続きを表示(約 800 文字)【請求項2】
前記標識は蛍光標識、例えば蛍光インクを含む蛍光標識、である、請求項1に記載の接着ロール。
【請求項3】
前記標識は燐光標識、例えば燐光インクを含む燐光標識、である、請求項1に記載の接着ロール。
【請求項4】
前記少なくとも1つの接着シートは1つの連続した接着シートである、請求項1から3のいずれか一項に記載の接着ロール。
【請求項5】
前記少なくとも1つの接着シートは複数の接着シートであり、前記複数の接着シートのそれぞれは前縁及び後縁を備えている、請求項1から3のいずれか一項に記載の接着ロール。
【請求項6】
前記複数の接着シートの各接着シートは、前記ロール芯の外周、及び/又は、内側に隣接する接着シートの長さ、を実質的に覆う長さを有する、請求項5に記載の接着ロール。
【請求項7】
前記少なくとも1つの接着シートは、熱可塑性の剥離層を備えている、請求項1から6のいずれか一項に記載の接着ロール。
【請求項8】
前記複数の接着シートの各接着シートの前記長さは、前記ロール芯の前記外周及び/又は前記隣接する接着シートの前記長さよりも大きく、その結果、各接着シートの前記前縁がその接着シートの前記後縁と重なる重なり領域が存在する、請求項6に記載の接着ロール。
【請求項9】
前記後縁は、標識を備えている、請求項5から8のいずれか一項に記載の接着ロール。
【請求項10】
前記少なくとも1つの接着シートの前記接着シート又は各接着シートは幅を有し、前記ロール芯は幅を有し、前記接着シート又は各接着シートの前記幅は、前記ロール芯の前記幅と実質的に同じである、請求項1から9のいずれか一項に記載の接着ロール。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、接触クリーニングシステム及び接触クリーニングシステムのための接着ロールに関する。接着ロールを形成する方法が更に開示される。
続きを表示(約 1,600 文字)【背景技術】
【0002】
接触クリーニングは、基板表面をクリーニングするのに用いられる。クリーニング後、基板表面は、電子機器、光起電機器、及びフラットパネルディスプレイの製造等における様々な精巧なプロセスに用いることができる。通常、ゴム又はエラストマー製のクリーニングローラーが、基板表面から汚染粒子を除去するのに用いられ、その後、接着ロールを用いて、クリーニングローラーから汚染粒子又は破片を除去することができる。これにより、クリーニングローラーが基板表面から汚染粒子を除去する効率を最大化することができる。
【0003】
接触クリーニングにおいて、接着ロールは、通常、巻かれた長さ、又はシート状の長さの、芯に巻き付けられた基材を備える。基材は、クリーニングローラーの表面から破片を除去又は収集するために使用することができる接着面を含む。クリーニング前の接着材料の長さは、破片によって実質的に覆われておらず、相対的に高い粘着度を有する。
【0004】
接着ロールが破片を除去するにつれ、破片が接着表面領域を覆い、接着材料の粘着度は、破片が接着表面領域のより大きな割合を覆うにつれ、より低いものとなる。したがって、接着材料は有効性を失う。接着材料の性能が必要な閾値を下回るとき、接着材料は使用済みとなり、接着ロールから除去しなければならない。
【0005】
接着ロールから使用済み接着材料を除去するには、接着シート除去装置が、接着材料の端部に接触して、接着ロールから材料を持ち上げなければならない。接着シートの端部の識別は、接着ロールを検査し、接着シート除去装置を接着シートの端部に位置合わせすることによって、手動で行うことができる。代替で、接着シートの端部の識別は、高価な光学システムを使用することによって達成することができる。
【0006】
或る特定の既知の例では、更なる接着表面を使用し、使用済み接着シートに接触させて持ち上げる。しかしながら、このシステムは、更なる接着表面が必然的に汚染されたシートと接触するという欠点を有しており、これは、更なる接着表面がそれ自体汚染され、置換又は交換が必要となることを意味する。このようなシステムでは、使用済み接着シートを除去するプロセスに、望ましくない複雑さ及び費用が追加される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明の実施の形態の目的は、従来技術の1つ以上の問題を少なくとも軽減することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の態様及び実施の形態は、添付の特許請求の範囲に記載されるように、接触クリーニングシステムにおいて使用される接着ロール、接触クリーニングシステム、及び接着ロールを製造する方法を提供する。
【0009】
本発明の一態様によれば、接触クリーニングシステムにおいて使用される接着ロールが提供され、該接着ロールは、
ロール芯と、
ロール芯上に巻き付けられた少なくとも1つの接着シートと、
を備えており、
接着シート又は各接着シートは前縁を備えており、
少なくとも1つの接着シートのうちの1つ以上の前縁は標識を備えており、及び/又は
ロール芯は標識を備えている。
【0010】
本発明の一態様によれば、接触クリーニングシステムにおいて使用される接着ロールが提供され、該接着ロールは、
ロール芯と、
ロール芯上に巻き付けられた少なくとも1つの接着シートと、
を備えており、
接着シート又は各接着シートは前縁を備えており、少なくとも1つの接着シートのうちの1つ以上の前縁は標識を備えている。
(【0011】以降は省略されています)

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