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発行日2024-10-03
公報種別意匠公報(S)
登録番号1781446
登録日2024-09-25
意匠に係る物品半導体ウェハ研磨用リテーナリング
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024011995
出願日2024-06-13
意匠権者株式会社荏原製作所,EBARA CORPORATION
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、例えば、「使用状態を示す参考図」に示すように、半導体等の製造における基板研磨工程において、半導体ウエハ等の基板を保持し、基板の片面を研磨するために用いるものである。
意匠の説明実線であらわされた部分が意匠登録を受けようとする部分である。背面図、右側面図及び左側面図は、正面図と同一に表れるため省略する。
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