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発行日2023-10-16
公報種別意匠公報(S)
登録番号1755380
登録日2023-10-05
意匠に係る物品化学的機械研磨装置用枠材
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2023006491
出願日2023-03-30
意匠権者株式会社荏原製作所,EBARA CORPORATION
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、化学的機械研磨(CMP)装置において、四辺形の基板を保持するトップリングに用いられる枠材である。
意匠の説明
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